1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 所有范围内为±5%。控制单元必须与相应的测量头一起使用!AVI隔振台其他高精密仪器

AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 隔离振动隔振台研发生产Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。

传感器位置
传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支撑面的刚性
支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。
运作方式
设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。
请注意,如果未启用LFS,则它将无效。
敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备:
扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,
医疗检测设备等 AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。
面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。
传感器的位置:
传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支承面刚度:
支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。瑞士隔振台美元价格
实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。AVI隔振台其他高精密仪器
TS-140+40技术指标:
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离:
动态0.7Hz至1kHz无源(超过1kHz)
传递率:
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)
矫正力:垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性:垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载:50-180公斤
尺寸:500 x 600 x
84毫米
重量:28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
AVI隔振台其他高精密仪器
岱美仪器技术服务(上海)有限公司注册资金100-200万元,是一家拥有11~50人***员工的企业。岱美中国致力于为客户提供质量的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ],一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为**,发挥人才优势,打造仪器仪表质量品牌。截止当前,我公司年营业额度达到100-200万元,争取在一公分的领域里做出一公里的深度。