江苏十万级净化工程建设

万级洁净厂房需通过压差控制防止空气逆流，确保洁净区空气流向从高洁净度区域流向低洁净度区域，洁净区与非洁净区的压差≥10Pa，不同洁净级别的区域之间压差≥5Pa。压差控制系统采用定风量阀或变风量阀，通过调节送风量与回风量来维持压差稳定，同时需在洁净区关键位置设置压差传感器，如洁净区与走廊、走廊与室外的交接处，传感器精度≤±1Pa，实时监测压差变化，并将数据传输至控制系统。当压差偏离设定值时，系统需自动报警，并调节阀门开度，恢复正常压差。此外，需定期对压差控制系统进行校准，校准周期≤6 个月，确保压差监测数据准确可靠，避免因压差失控导致洁净度下降。实验室新风系统需保障空气交换量，引入的新风需经过过滤处理，维持实验室内部空气质量达标。江苏十万级净化工程建设

十万级净化车间暖通与通风管道安装完成后需进行协同调试，调试流程为：检查设备与管道安装质量→开启空调机组与风机→测试各风口风量→调整风机转速与阀门开度，使各风口风量偏差≤15%→测试车间温湿度，调整表冷器、加热器与加湿器，使温湿度达到设计要求→测试车间洁净度，确保粒子浓度≤35200 粒 /m³（≥0.5μm）→测试车间压差，确保洁净区与非洁净区压差≥5Pa。调试完成后需编写调试报告，记录调试数据与结果，调试合格后方可投入使用。苏州万级净化工程建设实验室纯水系统应设置应急供水装置，设备检修期间可切换备用水源，避免中断实验进程造成损失。

十万级净化车间通风管道需选用镀锌钢板，钢板厚度按风管尺寸确定：风管边长≤500mm 时厚度≥0.5mm，边长 500-1000mm 时厚度≥0.6mm，边长＞1000mm 时厚度≥0.8mm。风管制作需采用咬口连接，咬口宽度≥10mm，咬口处需涂抹密封胶，防止漏风；风管弯头需设置导流片，导流片间距≤100mm，减少气流阻力；风管三通需采用顺水三通，避免气流涡流。风管制作完成后需进行密封性检测，采用漏光法检测，每 10m 风管漏光点≤2 处为合格，确保风管无泄漏。

电子、半导体行业万级洁净区需设计完善的防静电接地系统，接地网络采用铜箔铺设，地面铜箔网格间距≤1.5m，墙面铜箔沿墙角垂直铺设，与地面铜箔可靠连接。设备接地需采用接地线，接地线截面积≥2.5mm²，接地电阻≤1Ω；人员接地需设置防静电接地桩，接地桩与接地网络连接，接地电阻≤100Ω，人员进入洁净区前需触摸接地桩释放静电。接地系统需设置监测点，每 50m² 设置 1 个，监测点采用铜制端子，表面镀镍，便于检测。定期检测接地电阻，检测周期为每季度 1 次，若接地电阻超标，需检查接地铜箔是否断裂、接头是否松动，及时修复，确保静电安全。实验室中央空调系统应具备控制功能，不同功能分区可按需调节温度，避免能源浪费与环境不适。

万级净化车间通风空调系统需按 “全新风 + 回风” 模式设计，空气处理流程为：室外新风→初效过滤（G4）→中效过滤（F8）→表冷 / 加热→加湿 / 除湿→高效过滤（HEPA H13）→洁净送风。系统设计参数需满足：洁净区空气含尘浓度≤3520 粒 /m³（≥0.5μm），换气次数≥25 次 /h，送风速度 0.2-0.5m/s，温湿度控制在 22±2℃、45%-65%。送风方式采用上送下回，送风口均匀布置，每个送风口覆盖面积≤15㎡，回风口设置在地面或墙面下部，回风口间距≤6m，且每个回风口需配备初效过滤器（G3），防止回风携带大颗粒杂质。空调系统需设置压差控制系统，洁净区与非洁净区压差≥10Pa，不同洁净级别的区域压差≥5Pa，确保空气单向流动，避免污染逆流。实验室恒温恒湿系统要具备高精度控制能力，温度波动范围需控制在 ±1℃，湿度波动不超过 ±5%。徐州千级净化工程建设

实验室应急设施布局要合理，紧急喷淋装置与洗眼器需设置在易操作区域，且保持随时可用状态。江苏十万级净化工程建设

十万级净化车间暖通系统需采用 “新风 + 回风” 组合模式，空气处理流程为：室外新风→初效过滤（G3）→中效过滤（F7）→表冷 / 加热→加湿 / 除湿→高效过滤（HEPA H12）→洁净送风。系统设计参数需满足：洁净区空气含尘浓度≤35200 粒 /m³（≥0.5μm），换气次数≥15 次 /h，送风速度 0.2-0.4m/s，温湿度控制在 23±3℃、40%-65%。送风方式采用上送下回或上送上回，送风口均匀布置，每个送风口覆盖面积≤20㎡，回风口设置在墙面下部，回风口间距≤8m，回风口需配备初效过滤器（G2），防止回风携带大颗粒杂质。江苏十万级净化工程建设