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日本KOFLOC小岛DF-200C标准规范传感器方式热绕组传感器阀门方式比例电磁阀(未通电时关闭)目标气体(*1)多气体:N2(空气,H2,He,Ar,O2,CO2)(*2)流量范围(*3)10/30/50/100/300/500SCCM,1/3/5/10SLM(*2)控制范围2至100%(F.S.)反应能力(*4)总流量控制范围在1秒内(±2%F.S.)L:50kPa~149kPaH:150kPa~300kPa精度(*5)±1.0%SP(>35%F。S.),±0.35%F。S.(≦35%F。S.)再现性±0.25%FS工作压差(*6)50至300kPa(Ar,CO2:100.300kPa)比较大入口压力500kPa(G)耐压980kPa(G)He泄漏率(*7)1x10-8Pa.m3/sec以下温度允许周围温度5~50℃精度保证温度15~35℃允许储存温度-10~60℃允许环境湿度10~90%RH(无结露)气体接触材料SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM电气连接D-sub9针KFC标准(符合SEMI标准),
荷兰BRONKHORST质量流量计F-113AI-1MO-MGD-55-V;1000slm(H2),5bar(g),20℃荷兰BRONKHORST质量流量计F-116AI-MGD-EE-V;2000slm(H2),5bar(g),20℃荷兰BRONKHORST质量流量计F-116BI-AGD-FF-V;4000slm(H2),5bar(g),20℃荷兰BRONKHORST质量流量计F-116AI-AGD-55-V2000In/minH222Bar(g)40℃荷兰BRONKHORST压力控制器P-702CV-6K0A-AAD-22-K1In\minN2荷兰BRONKHORST流量控制器EL-FLOWFS-201CV-20-PGD-00-V荷兰BRONKHORST流量控制器F-202AI-M10-AAD-22-V荷兰BRONKHORST流量计F-221M荷兰BRONKHORST流量计miniCori-FlowM14-MGD-99-0-S荷兰BRONKHORST压力控制器P-602CV-1K1A-ABD-00-V荷兰BRONKHORST流量计FS-201CV-100-PGD-00-V荷兰BRONKHORST液体流量控制器F-202AI-M10-AAD-22-V美国ALICAT艾里卡特MW系列低压损气体质量流量计适用于非腐蚀性气体 MW-0.5SCCM-D MW-1SCCM D MW-2SCCM D流量计.

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