干冰清洗基本参数
  • 品牌
  • coulson,Icesonic,hydac,FG
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  • 齐全
  • 一站式
  • 供应省心
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  • 资质齐全
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  • 兼容性
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干冰清洗企业商机

沉积 / 刻蚀腔体及部件清洁清洁对象:CVD(化学气相沉积)腔体、PVD(物***相沉积)靶材、刻蚀机反应室(内壁、喷头、电极)。污染问题:沉积过程中,薄膜材料(如 SiO₂、SiN、金属 Cu/Al)会在腔体壁、靶材边缘沉积,形成 “结垢层”,积累到一定厚度会剥落并污染晶圆;刻蚀反应室中,等离子体与晶圆反应生成的聚合物(如 CF₄刻蚀硅产生的 CxFy)会附着在喷头和电极表面,导致刻蚀速率不均匀。干冰清洗作用:无需拆卸腔体(传统清洁需拆解,耗时 4-8 小时,且可能引入外界污染),通过酷尔森icestorm干冰颗粒的冲击和低温脆化效应,使结垢层(硬度较高的陶瓷或金属薄膜)与腔体基材分离,随气流排出。保护腔体内部精密部件(如石英喷头、金属电极):控制干冰颗粒尺寸(3-5mm)和压力(0.3-0.6MPa),可去除靶材边缘的沉积残留,同时不损伤靶材表面(靶材精度直接影响沉积薄膜的均匀性)。使用液态二氧化碳直接清洗,其消耗量约为传统干冰颗粒清洗的三分之一,降低了运营成本。湖北进口干冰清洗销售

干冰清洗

航空航天行业的零部件生产与设备维护对清洁度与精度要求极高,微小的杂质与污染物都可能影响飞行安全。酷尔森干冰清洗凭借准确、无损、环保的特性,满足航空航天行业的严苛需求。在航空发动机零部件清洗中,干冰颗粒能深入零部件的复杂结构与微小缝隙,去除表面的油污、金属碎屑与涂层残留,且不会损伤零部件的精密结构与表面涂层,保障发动机的运行安全性与可靠性。对于飞机机身的除漆与清洗,干冰清洗能快速剥离旧漆与表面污染物,且不会损伤机身金属结构,相比传统打磨除漆,效率更高、对设备的保护更好。在航空航天零部件的模具清洗中,干冰清洗可彻底去除模具内的残留物料与积垢,保持模具的精密精度,提升零部件的生产质量,其无残留、环保的优势符合行业高标准要求。海南不锈钢干冰清洗24小时服务这个过程通过热震冲击和"微型爆破"效应,破坏污垢与基体的结合力,从而将污垢剥离。

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真空溅射行业的溅射镀膜机、真空室、靶材等设备易附着溅射材料残留、油污、粉尘等污染物,这些污染物会影响溅射膜层的质量、附着力与设备运行稳定性。酷尔森干冰清洗凭借准确、环保的特性,适配真空溅射行业的清洗需求。在溅射镀膜机真空室清洗中,干冰颗粒能彻底去除真空室内壁的溅射材料残留与油污,保持真空室的洁净度,避免污染物影响溅射膜层的均匀性与附着力,保障镀膜产品的质量。对于靶材,干冰清洗能去除表面的氧化层与杂质,保持靶材的纯度,提升溅射膜层的质量与稳定性,延长靶材使用寿命。在镀膜设备的传输系统清洗中,干冰清洗可去除传输部件表面的粉尘与油污。

清洁各种高功率光纤连接器和其他组件光学元件清洁、光学涂层制备/清洁光电传感器和医疗设备清洁半导体和生物医学组件表面清洁。应用场景:汽车涂装线,化妆品包材涂装线,半导体涂装线等。*系统主要由液态CO2储罐,增压设备,耐高压耐低温管路,雪花清洗控制系统,机器人(往复机),喷嘴模块等组成。*根据客户产品清洗需求不同,酷尔森coulson雪花清洗系统喷嘴模块数量可分单喷嘴模块和多喷嘴模块,以适应不同产品形状和不同节拍的需求。*独特的喷嘴设计,使设备运行不堵塞、不结露、清洗能力强,运行稳定无间隔等特点,特别适合汽车零部件,化妆品包材等产品的表面清洁。汽车喷漆系统清洗可使用干冰清洗技术。

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粉末涂装行业的喷涂设备、喷房、回收系统等易附着粉末涂料残留、粉尘、油污等污染物,这些污染物会影响喷涂效果、产品外观与设备运行稳定性。酷尔森干冰清洗凭借高效、环保的特性,适配粉末涂装行业的清洗需求。在喷涂设备如粉末喷枪、喷粉室清洗中,干冰颗粒能快速去除表面的粉末涂料残留与粉尘,保持喷枪的喷雾均匀性,保障喷涂效果,避免因设备污染导致的涂层不均、漏喷等问题。对于回收系统的滤芯与管道,干冰清洗能去除附着的粉末残留,恢复回收系统的吸力与过滤效率,减少粉末涂料的浪费。在喷房内壁与地板清洗中,干冰清洗可去除粉末粉尘与油污。汽车行业去毛边毛刺可用干冰清洗。湖北进口干冰清洗销售

飞机航空电缆表面油污,干冰清洗机可无损去除,不损伤绝缘层,保障电路安全。湖北进口干冰清洗销售

酷尔森环保科技(上海)有限公司干冰清洗技术要点与挑战工艺参数精密控制:压力: 通常使用较低压力(如 2-10 bar),远低于常规工业干冰清洗,以避免对精密部件造成损伤或导致微粒嵌入软性材料。干冰颗粒尺寸: 使用非常细小的颗粒(如米粒级或更细),以获得更温和、更精细的清洁效果。喷射距离与角度: 需要精确控制喷嘴到目标的距离和喷射角度,优化清洁效率同时**小化潜在影响。流量: 根据污染程度和部件敏感度调节干冰流量。微粒控制:干冰冲击会将污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系统是必不可少的配套设备,必须能即时、彻底地吸走剥离下来的污染物和升华的CO₂气体,防止二次污染。系统需要高过滤效率(HEPA/ULPA级别)。静电控制:高速气流和干冰颗粒撞击可能产生静电。在半导体洁净室环境中,需要考虑静电消散措施,如使用防静电喷嘴、接地设备、或引入可控的电离气流。材料兼容性:虽然对大多数硬质材料安全,但对于非常脆弱的涂层、软性金属(如金线)、裸露的精密电路、某些塑料或复合材料,仍需进行严格的兼容性测试,确认不会造成损伤(如微凹痕、划痕、涂层剥离)。湖北进口干冰清洗销售

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