科研团队在晶圆键合的对准技术上进行改进，针对大尺寸晶圆键合中对准精度不足的问题，开发了一套基于图像识别的对准系统。该系统能实时捕捉晶圆边缘的标记点，通过算法调整晶圆的相对位置，使对准误差控制在较小范围内。在 6 英寸晶圆的键合实验中，该系统的对准精度较传统方法有明显提升，键合后的界面错位现象明显减少。这项技术改进不仅提升了晶圆键合的工艺水平，也为其他需要高精度对准的半导体工艺提供了参考，体现了研究所的技术创新能力。
晶圆键合实现微型色谱系统的复杂流道高精度封装。辽宁表面活化晶圆键合加工平台
5G射频滤波器晶圆键合实现性能跃升。玻璃-硅阳极键合在真空气腔中形成微机械谐振结构，Q值提升至8000@3.5GHz。离子注入层消除热应力影响，频率温度系数优化至0.3ppm/℃。在波束赋形天线阵列中，插入损耗降至0.5dB，带外抑制提升20dB。华为基站测试数据显示，该技术使毫米波覆盖半径扩大35%，功耗节省20%。曲面键合工艺支持三维堆叠，滤波模块厚度突破0.2mm极限。器官芯片依赖晶圆键合跨材料集成。PDMS-玻璃光活化键合在微流道中构建仿生血管内皮屏障，跨膜运输效率提升300%。脉动灌注系统模拟人体血压变化，实现药物渗透实时监测。在药物筛选中，临床相关性达90%，研发周期缩短至传统动物试验的1/10。强生公司应用案例显示，肝毒性预测准确率从65%升至92%。透明键合界面支持高分辨细胞动态成像。辽宁表面活化晶圆键合加工平台晶圆键合为MEMS声学器件提供高稳定性真空腔体密封解决方案。
该研究所将晶圆键合技术与微机电系统（MEMS）的制备相结合，探索其在微型传感器与执行器中的应用。在 MEMS 器件的多层结构制备中，键合技术可实现不同功能层的精确组装，提高器件的集成度与性能稳定性。科研团队利用微纳加工平台的优势，在键合后的晶圆上进行精细的结构加工，制作出具有复杂三维结构的 MEMS 器件原型。测试数据显示，采用键合技术制备的器件在灵敏度与响应速度上较传统方法有一定提升。这些研究为 MEMS 技术的发展提供了新的工艺选择，也拓宽了晶圆键合技术的应用领域。
研究所利用其作为中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会倚靠单位的优势，组织行业内行家围绕晶圆键合技术开展交流研讨。通过举办技术论坛与专题研讨会，分享研究成果与应用经验，探讨技术发展中的共性问题与解决思路。在近期的一次研讨中，来自不同机构的行家就低温键合技术的发展趋势交换了意见，形成了多项有价值的共识。这些交流活动促进了行业内的技术共享与合作，有助于推动晶圆键合技术的整体进步，也提升了研究所在该领域的学术影响力。晶圆键合解决植入式神经界面的柔性-刚性异质集成难题。
该研究所将晶圆键合技术与半导体材料回收再利用的需求相结合，探索其在晶圆减薄与剥离工艺中的应用。在实验中，通过键合技术将待处理晶圆与临时衬底结合，为后续的减薄过程提供支撑，处理完成后再通过特定工艺实现两者的分离。这种方法能有效减少晶圆在减薄过程中的破损率，提高材料的利用率。目前，在 2-6 英寸晶圆的处理中，该技术已展现出较好的适用性，材料回收利用率较传统方法有一定提升。这些研究为半导体产业的绿色制造提供了技术支持，也拓展了晶圆键合技术的应用领域。
晶圆键合提升热电制冷器界面传输效率与可靠性。珠海高温晶圆键合工艺
晶圆键合实现多通道仿生嗅觉系统的高密度功能单元集成。辽宁表面活化晶圆键合加工平台
全固态电池晶圆键合解除安全魔咒。硫化物电解质-电极薄膜键合构建三维离子高速公路，界面阻抗降至3Ω·cm²。固态扩散反应抑制锂枝晶生长，通过150℃热失控测试。特斯拉4680电池样品验证，循环寿命超5000次保持率90%，充电速度提升至15分钟300公里。一体化封装实现电池包体积能量密度900Wh/L，消除传统液态电池泄露风险。晶圆键合催生AR眼镜光学引擎。树脂-玻璃纳米光学键合实现消色差超透镜阵列，视场角扩大至120°。梯度折射率结构校正色散，MTF@60lp/mm>0.8。微软HoloLens3采用该技术，镜片厚度减至1mm，光效提升50%。智能调焦单元支持0.01D精度视力补偿，近视用户裸眼体验增强现实。真空纳米压印工艺支持百万级量产。辽宁表面活化晶圆键合加工平台
