东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。RPS避免了传统等离子体源直接接触处理表面可能带来的热和化学损伤。湖北RPS石英舟处理
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，为增强现实（AR）应用提供了高精度的位置信息支撑。AR 应用对定位精度要求严苛，RPS 通过 Wi-Fi 指纹定位、室内地图定位等多种技术融合，实现厘米级定位精度，确保虚拟物体与现实场景的精细叠加。在 AR 导航、AR 工业维修等场景中，RPS 可实时更新用户位置信息，保障虚拟指引与实际环境的一致性；在 AR 娱乐应用中，RPS 快速的定位响应速度提升了用户交互体验。晟鼎精密的 RPS 定位系统具备良好的兼容性，可与多种 AR 设备与平台对接，支持多用户同时定位。通过持续优化定位算法，RPS 在复杂环境中的定位稳定性不断提升，为 AR 技术的商业化应用提供了可靠的 RPS 技术基础。海南远程等离子体源RPS等离子源处理cvd腔室为量子点显示提供精密图案化。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司针对新能源汽车电池壳体检测需求，定制开发了RPS特用检具方案，保障电池包的装配安全性与密封性。新能源汽车电池壳体尺寸大、结构复杂，对平面度、孔位精度要求极高，RPS检具采用模块化设计，通过多个RPS定位基准点实现壳体的稳定支撑与精细定位。检具配备高精度接触式探针与激光传感器，可同时检测壳体的平面度、孔位坐标、壁厚等20余项关键参数，检测精度达0.01mm。RPS检具支持全自动检测流程，机器人自动上下料、自动完成检测，检测节拍只需45秒/件，满足新能源汽车生产线的高效需求。检测数据可实时上传至MES系统，生成追溯报告，为电池壳体质量控制提供数据支撑。该RPS检具方案已应用于多家新能源车企，有效降低了电池包泄漏风险，成为电池安全保障的中心RPS检测工具。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具采用轻量化设计，具备便携性强的明显优势，适用于多种工作场景。RPS 检具选用强度、轻量化的质量材料，在保证结构强度与检测精度的前提下，大幅降低设备重量，便于搬运与安装。对于需要现场检测的场景，如零部件安装现场、户外维修等，RPS 便携检具可快速部署，完成检测任务，无需依赖固定检测场地。该 RPS 便携检具的操作界面简洁直观，配备便携式电源，可在无外接电源的情况下长时间工作。轻量化与便携性设计让 RPS 检具的应用场景更加宽泛，成为现场检测、移动检测的推荐 RPS 设备，为客户提供了更大的使用灵活性。RPS与材料和腔室表面发生反应，以去除污染物并充当有助于材料沉积的前提。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借较强的环境适应性与高精度，成功应用于航空航天零部件制造。航空航天零部件多为复杂曲面结构，尺寸精度要求极高，RPS 设备支持 3 组 9 个高分辨率镜头切换，可覆盖不同规格零部件的扫描需求。RPS 采用同步触发驱动技术，投光采集时间短，扫描效率高，单幅测量时间≤1.5 秒，能快速完成大型零部件的全尺寸扫描。在数据处理上，RPS 通过多核多线程高速算法与 GPU 加速，实现点云数据的快速重建与噪声处理，生成高精度三维模型。该 RPS 设备可承受航空航天制造车间的复杂环境，抗震动、抗干扰能力突出，测量精度稳定在 0.01mm 以内。目前，RPS 已应用于飞机结构件、发动机零部件等关键部件的制造检测，为航空航天产品的安全性提供了可靠的 RPS 技术保障。晟鼎RPS等离子浓度检测:通过检测解离腔体内电流判断等离子浓度，确保等离子体稳定。重庆半导体设备RPS服务电话
为器官芯片制造提供细胞培养基底功能化。湖北RPS石英舟处理
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，在光伏电池钝化工艺中实现重大突破，助力光伏产业提升发电效率。钝化工艺是提升光伏电池开路电压与填充因子的关键环节，RPS通过精细控制等离子体参数，在电池表面形成高质量钝化层，有效减少载流子复合。与传统钝化技术相比，RPS处理后的钝化层均匀性更好，表面态密度降低30%以上，使电池转换效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工，可适配182mm、210mm等主流硅片规格，单台设备每小时可处理2000片以上硅片，满足光伏产业量产需求。在成本控制方面，RPS通过优化气体配比与能量利用，使单位硅片处理成本降低15%。目前，该RPS钝化方案已被多家光伏企业采用，成为提升光伏电池性能的中心RPS装备。湖北RPS石英舟处理
