这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 NC810A型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。EDKORS真空计性价比
复合真空计播报编辑讨论上传视频由热偶与热阴极电离真空计组成的真空测量装置复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa [2]。热偶真空计通过气体热传导效应测量10²-10⁻¹Pa区间的低真空，热阴极电离真空计利用电子碰撞电离原理检测10⁻¹-10⁻⁵Pa范围的高真空。两种真空计在10⁻¹Pa量级通过自动切换机制衔接，有效避免电离规管在高压强工况下损坏 [1] [4]。该设备广泛应用于真空镀膜、电子束焊接等工业场景，具备自动校准与多通道控制功能泵吸式真空计供应商按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类。
技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书，热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成，覆盖105~10-6Pa的真空范围测量，主要技术指标包括 [1]：热偶规测量范围：3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa（ZJ-54D型）电离规测量范围：5~1.0×10⁻⁶Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10⁻⁴Pa（ZJ-10型）发射电流调节范围：50μA至5mA阳极电压：225V（ZDF-1A型）继电器触点容量：220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]：真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道，防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动，避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流，标准值为95-105mA（具体数值依据规管型号）安装时电离规管轴线应与地面垂直，倾斜角度不得超过30°
热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。真空计测量精度较高，主要用作基准量具。EDKORS真空计图片
薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计。EDKORS真空计性价比
可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。 EDKORS真空计性价比
