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气冷罗茨真空泵基本参数
  • 品牌
  • 淄博干式真空泵
  • 型号
  • 齐全
  • 产地
  • 山东
  • 是否定制
气冷罗茨真空泵企业商机

中型设备广泛应用于半导体晶圆制造、光伏电池镀膜、大型真空炉等工业场景,转子直径通常为150~300mm,转速可达3000~6000r/min。其抽气速率覆盖500~5000m³/h,典型应用包括:半导体刻蚀工艺中的真空系统,需快速将反应腔抽至10⁻³Pa,配套的气冷罗茨泵抽气速率约1000~3000m³/h;光伏行业的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备,为实现大面积镀膜的效率,气冷罗茨泵抽气速率多为3000~5000m³/h。大型设备主要用于航天模拟舱、核工业真空系统、大型复合材料成型设备等超大型真空场景,转子直径超过300mm,转速通常为1500~3000r/min(受限于转子惯性与冷却压力)。淄博干式真空提供专业的真空制作、工程设计、安装调试、保养维护等服务。贵州三叶气冷罗茨真空泵

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其结构更紧凑,冷却系统只需连接冷却器和回流管路,维护成本降低30%以上。例如,莱宝RUVACWA/WAU系列气冷罗茨泵采用集成式旁通阀和简化轴封设计,保养间隔延长至传统泵的2倍。普通罗茨真空泵的极限压力通常在1-10Pa,但需前级泵将入口压力降至6000Pa以下才能启动,且在高压段(>1000Pa)抽速急剧下降。气冷罗茨真空泵的直排大气极限压力约为1×10^4Pa,虽略高于普通泵,但其在高压段(10^4-10^5Pa)的抽速曲线更平坦,可快速完成粗抽阶段。例如,ZJQ-1200型气冷罗茨泵在88kPa压差下仍能保持1200L/s的稳定抽速,而普通罗茨泵在此压力下可能因过热停机。这种特性使其在化工反应釜抽空、食品包装等需要快速建立中真空的场景中优势明显。德州三叶气冷罗茨真空泵价格淄博干式真空树立了良好的信誉,很大的地提升了用户对企业的满意度和忠诚度。

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普通罗茨真空泵因依赖前级泵和水冷系统,整体能耗较高。例如,传统罗茨-水环机组的功率通常为110kW以上,且水冷系统需额外消耗约15%的总能耗。气冷罗茨真空泵通过取消前级泵和简化冷却系统,能耗大幅降低。以某电厂改造为例,气冷罗茨-水环机组替代传统水环泵后,运行电流从170A降至50A,节电率达73%,两年内即可收回改造成本。此外,气冷泵无需冷却水,避免了水处理费用和管道维护成本,尤其适合干旱地区或对环境敏感的应用。普通罗茨真空泵对环境温度和气体成分敏感,高温或含可凝性气体的工况易导致转子卡死。例如,在夏季高温时,水冷泵的冷却效率下降,真空度可能降低10-20%。  

流量控制单元由电磁流量计(测量精度±1%)、比例调节阀(调节范围0-500L/min)和压力传感器组成,可根据泵体温度自动调节冷却气体流量(温度每升高10℃,流量增加15%-20%)。气冷通道分为“主冷却通道”和“辅助冷却通道”:主通道环绕工作腔,直接冷却泵体和转子;辅助通道通向齿轮箱和轴承座,间接冷却传动部件。排气回收装置(如气液分离器)用于分离冷却气体中携带的油雾和水汽,实现气体循环利用(部分型号回收率可达60%)。主动降温,抑制热变形:冷却气体在主通道内高速流动(流速15-30m/s),通过强制对流吸收泵体和转子的热量(单台泵散热功率可达5-20kW),使泵内最高温度控制在100℃以下(传统罗茨泵无气冷时可能超过150℃),避免转子和泵体因热膨胀导致间隙变小(金属材料线膨胀系数约12×10⁻⁶/℃,100℃温差可导致0.1mm以上的变形)。淄博干式真空是以集品质、服务于一身的真空设备生产企业。

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系统泄漏(如法兰密封不良、管路破损)会引入外界气体,抵消泵的抽气效果。正常情况下,真空系统的允许泄漏率需≤1×10⁻⁷Pa·m³/s,若泄漏率增至1×10⁻⁶Pa·m³/s,在入口压力10Pa时,抽气速率会被抵消约10%(因泄漏气体需被额外抽除)。气冷罗茨泵的密封件(如骨架油封、O型圈)需耐温(气冷系统可降低密封件温度),否则高温会加速密封件老化,导致泄漏率上升。定期维护是维持抽气速率的关键:轴承磨损会导致转子偏心,增大与泵腔的间隙,例如轴承径向游隙从0.01mm增至0.1mm时,抽气速率下降15%;润滑油(用于轴承润滑)乳化或变质会增加摩擦热,间接影响气冷效率,导致泵温上升。建议每运行1000小时更换润滑油,并检查转子间隙,必要时重新研磨调整。淄博干式真空是以科研、生产、销售为一体的真空设备专业生产厂家。青海大气量罗茨真空泵定制

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外置式气冷通过在泵体外部设置冷却结构,利用气体流动带走泵体表面的热量,间接降低内部温度。其典型设计包括:环绕式冷却罩:在泵体(泵壳、端盖)外部安装可拆卸的金属罩,罩与泵体间预留5-10mm间隙,冷却气体(通常为压缩空气)从罩的一端流入,沿泵体表面流动后从另一端排出,通过对流换热带走泵体表面的热量。翅片式气冷结构:在泵体外部加工密集的散热翅片(材质多为铝合金或铜,导热系数高),冷却风扇强制吹送空气流过翅片,通过增大散热面积提升换热效率。外置式气冷的热交换路径为:泵内热量→泵体壁面→冷却气体,属于间接冷却,效率通常为30%-50%,适合中等发热量场景。贵州三叶气冷罗茨真空泵

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