5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。TS-140的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db。光刻机隔振台可以试用吗
我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单，客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商，此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防震台由世界杰出的防震专业厂家HEZAN公司提供。AVI系列的防震台设计于结构紧凑，模块化的系统。它是理想的可以加装或整合到一个你已有的仪器设备系统以获得更好性能，它还可以提供在一定大小的范围内和增加额外的模块用来支持你想得到即使是蕞大的负荷。主动隔振范围从1Hz到200Hz，被动隔振超过200Hz，广泛应用于光刻类仪器、光谱分析类仪器、高精密测量系统、超高真空扫描探针显微和电镜及透射电子显微镜等系统。山东隔振台联系电话测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持ZUI佳的隔振状态。
隔振台TS-140+40的技术指标：频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔离：动态（超过1kHz）传递率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性：垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载：50-180公斤尺寸：500x600x84毫米重量：在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。如果您有任何需要了解的，请随时联系我们岱美仪器技术服务有限公司。记得访问官网。
AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确，请按照下列步骤操作：面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ，并在此领域积累了丰富的经验。
TS-150TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”频率：0,7-1000Hz负载范围：0-150公斤尺寸：400x450x78.5毫米TS-150结合了久经考验的技术卓悦性和优雅且用户友好的设计。TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。TS-150的高度瑾为78.5毫米TS-150的重量瑾为17.5千克Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。晶圆片隔振台干涉测量应用
TS-140的高度只有84毫米。光刻机隔振台可以试用吗
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制电路都内置在该单元钟。功耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM，STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。光刻机隔振台可以试用吗
