东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。远程等离子体源RPS可以被集成到真空处理系统中，使得表面处理和材料改性的工艺更加灵活和高效。北京国内RPS电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推动 RPS 检具检测流程的标准化与自动化，大幅提升了汽车零部件检测的效率与稳定性。RPS 检测流程严格遵循 “准备 - 校准 - 装夹 - 检测 - 判定” 的标准化步骤，从检具硬件校准到数据记录输出，每个环节都制定了明确的操作规范。在自动化升级方面，RPS 检测系统引入机器人搭载三坐标测量头或激光扫描仪，实现零部件 RPS 定位点的全自动检测，减少人工干预导致的误差。RPS 检测软件具备自动拼接、偏差分析、报告生成等功能，可实时显示检测结果，通过绿 / 黄 / 红指示灯直观提示合格状态。该 RPS 标准化检测流程的检测节拍时间可控制在 30 秒 / 件以内，满足生产线在线检测需求。通过数字化管理，RPS 检测数据可追溯、可分析，帮助企业优化生产工艺，提升产品质量，成为汽车制造智能化升级的中心 RPS 支撑。北京国内RPS电源在生物传感器制造中提升检测灵敏度。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，针对第三代半导体（GaN、SiC）的加工特性进行了专项优化，成为该领域的中心加工设备。第三代半导体材料硬度高、脆性大，传统加工方式易产生表面损伤，RPS 通过中性自由基反应实现低损伤加工，避免表面微裂纹的产生。RPS 可精细控制工艺参数，适配 GaN、SiC 等材料的刻蚀与清洁需求，在保证加工精度的同时，比较大限度保护材料原有性能。在第三代半导体器件制造中，RPS 的高选择性刻蚀能力可实现不同材料层的精细分离，高深宽比加工能力满足器件微型化需求。该 RPS 设备运行稳定，工艺重复性强，可满足第三代半导体量产需求，目前已应用于功率器件、射频器件等产品的制造，为第三代半导体产业发展提供了关键的 RPS 技术支撑。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，具备快速响应产品迭代的中心优势，帮助企业适应市场变化。当产品设计需要修改时，RPS 可快速调整模具参数，重新制作模具，相比传统模具大幅缩短迭代周期。在产品迭代测试阶段，RPS 可快速生产多版本样品，供企业进行对比测试，优化产品设计；在市场需求发生变化时，RPS 可快速切换生产方案，满足新的市场需求。RPS 的 ERP 系统支持多项目并行管理，可同时处理多个产品迭代项目，确保生产有序进行。通过 RPS 快速模具技术，企业能够快速响应市场反馈，加速产品迭代速度，提升市场竞争力。目前，RPS 已成为消费电子、智能装备等快速迭代行业的中心 RPS 支撑方案。用于太赫兹器件的超精密清洗。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，为车辆导航提供了有效的增强解决方案，弥补了传统 GNSS 信号在复杂环境中的不足。在城市峡谷、隧道等 GNSS 信号受阻区域，RPS 通过构建城市道路的射频地图，结合 GNSS 信号提供连续、可靠的车辆位置信息，确保导航不中断。RPS 定位技术的抗干扰能力强，可有效避免多径效应对定位精度的影响，在复杂路况下仍能保持较高的定位准确性。晟鼎精密的 RPS 车辆导航增强系统可与车载导航设备无缝对接，无需额外改装即可使用，适配性强。通过 RPS 技术的应用，车辆导航的路径规划更精细，行驶指引更及时，大幅提升了驾驶体验，成为智能交通领域的重要 RPS 技术应用。远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一种用于产生等离子体的装置。浙江RPS腔体清洗
在半导体前道制程中确保栅极界面质量。北京国内RPS电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借快速批量检测能力，成为消费电子制造行业的中心质量控制工具。消费电子产品更新换代快，批量大，对检测效率要求高，RPS 设备单幅测量时间≤1.5 秒，结合全自动拼接技术，可实现零部件的快速批量扫描检测。RPS 设备的测量精度可达 0.01mm，能够满足消费电子零部件的高精度检测需求，如手机外壳、摄像头模组等。在生产线上，RPS 检测设备可与自动化生产线联动，实现零部件的在线检测，及时剔除不合格产品，避免批量质量问题。该 RPS 批量检测方案已应用于多家前端消费电子企业，帮助企业提升生产效率，降低质量成本，成为消费电子制造行业的推荐 RPS 检测设备。北京国内RPS电源
