一、真空计分类真空计主要可分为两大类,***真空计和相对真空计,这两者的主要区别在于其测量真空度的方式不同。1.***真空计***真空计可以直接测量气体的***压力。其典型的例子是U形管真空计,通过**或油的液面差来直接反映气体的压力。这种真空计的优点是测量精度高,但通常结构较为复杂,且需要对测量环境进行温度修正。2.相对真空计相对真空计则是通过间接的方法来反映真空度,其显示的读数通常与某种已知气体的压力相关联。相对真空计通常更为便捷,适用于现场快速检测或连续监测。下面将详细介绍几种常见的相对真空计。真空计可分为真空计和相对真空计两大类。艾科思 真空计专卖店

冷阴极真空计(ColdCathodeGauge,如潘宁计)原理:基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极,外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子,电子在磁场中螺旋运动,增加与气体分子的碰撞概率,导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获,形成离子电流,其大小与气体分子密度成正比。特点:量程:通常为10−6Torr至10−3Torr,适合中高真空。优点:无加热元件,结构简单、寿命长。对振动不敏感(适合航天等恶劣环境)。局限性:低真空下响应慢(需足够残余气体维持放电)。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高(需校准)热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低(可忽略)冷阴极计(潘宁)高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 泵吸式四合一真空计用途复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管,分别接在真空系统上。

真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域,真空压力计发挥着至关重要的作用,为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度:能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好:在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷:特别是对于数字式真空压力计,直接读取数字显示的压力值,操作更为简单直观。应用范围广:不仅适用于科研和工业生产中的真空测量,也适用于真空设备的检测和维护。
值得注意的是,由于它是一种相对真空计,所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此,在被测气体成分发生较大变化时,需要对测量结果进行相应的修正。此外,长时间使用后,热丝可能会因氧化而发生零点漂移,这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中,并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D(通常采用铂丝)以及用于测量热丝温度的热电偶A与B(多采用铂铑或康铜-镍铬合金)没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。

可以看出虽然我们已经抽到了超高真空,但是腔体内的分子数还是很多很多,这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多,不知道你有没有想过,我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢?度量真空的仪器——真空计是的,就像我们有温度计和湿度计一样,我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道,真空度的高低是用压强大小来衡量的,因此,真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类:一类直接测量压强的大小,称为***真空计,例如U型真空计、压缩式真空计;一类是通过测量与压强有关的物理量,间接标定压强的数值,称为相对真空计,例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。 由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。EDKORS真空计进货价
相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。艾科思 真空计专卖店
工作原理与分类 根据物理效应差异,真空计可分为以下三大类: 力学性能类 原理:利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器:波尔登规(Bourdon)、薄膜电容规(测量范围:101325~133.32Pa)。 特点:适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类(气体动力学效应) 原理:基于气体热导率随压力变化的特性,如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力(测量范围:5×10⁻⁴~1000Pa)。 典型仪器:皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理:利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器:热阴极/冷阴极电离规(测量范围:10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa)。 特点:高精度但易受污染,需避免油蒸气。艾科思 真空计专卖店