RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司为 RPS 远程等离子体源客户提供多方位的售后技术支持与服务保障,解除客户使用顾虑。公司建立了专业的售后服务团队,通过电话、在线咨询等多种方式为客户提供及时的技术指导,解决设备使用过程中遇到的问题。对于需要现场服务的情况,RPS 售后服务工程师可快速响应,上门进行设备安装调试、维护维修等服务。晟鼎精密提供 RPS 设备的定期维护保养服务,根据设备使用情况制定维护计划,延长设备使用寿命;同时提供设备备件供应服务,确保备件及时到位,减少设备停机时间。该 RPS 售后技术支持与服务保障体系已获得客户的宽泛认可,成为客户长期合作的重要保障。在超导腔处理中实现原子级洁净表面制备。海南晟鼎RPS哪家强

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。广东国产RPS适用于第三代半导体材料的表面钝化。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高,传统模具生产成本高、周期长,而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件,大幅缩短生产周期,降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm,能够满足航空航天零部件的高精度要求;采用的材料具备强度、耐高温等特性,适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中,RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控,确保生产进度与质量;严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前,RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产,成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS定位技术,向智慧农业领域拓展,实现农业生产的精细管控。在大型温室大棚中,RPS可定位农业机器人、灌溉设备的实时位置,引导机器人精细完成播种、施肥、采摘等作业,定位误差控制在±5cm以内。通过RPS定位与传感器数据融合,可实现灌溉设备根据作物位置精细供水,避免水资源浪费,使灌溉效率提升30%。在畜禽养殖场景中,RPS可定位养殖设备与牲畜位置,监测牲畜活动轨迹,及时发现异常情况。RPS定位系统具备低功耗特性,适配农业户外场景的长期使用需求,且抗粉尘、抗潮湿能力突出。该RPS智慧农业方案已在多个现代化农场落地,帮助农户降低生产成本,提升农产品产量与质量,成为智慧农业发展的重要RPS技术支撑。为器官芯片制造提供细胞培养基底功能化。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司针对新能源汽车电池壳体检测需求,定制开发了RPS特用检具方案,保障电池包的装配安全性与密封性。新能源汽车电池壳体尺寸大、结构复杂,对平面度、孔位精度要求极高,RPS检具采用模块化设计,通过多个RPS定位基准点实现壳体的稳定支撑与精细定位。检具配备高精度接触式探针与激光传感器,可同时检测壳体的平面度、孔位坐标、壁厚等20余项关键参数,检测精度达0.01mm。RPS检具支持全自动检测流程,机器人自动上下料、自动完成检测,检测节拍只需45秒/件,满足新能源汽车生产线的高效需求。检测数据可实时上传至MES系统,生成追溯报告,为电池壳体质量控制提供数据支撑。该RPS检具方案已应用于多家新能源车企,有效降低了电池包泄漏风险,成为电池安全保障的中心RPS检测工具。晟鼎RPS自研PEO表面处理工艺,增加PEO膜层使用寿命,降低维护成本。福建远程等离子源RPS联系方式

用于光伏PERC电池的背钝化层沉积前表面活化。海南晟鼎RPS哪家强

东莞市晟鼎精密仪器有限公司为客户提供 RPS 远程等离子体源的定制化工艺开发服务,满足个性化加工需求。针对不同客户的特定材料、加工要求,RPS 技术团队通过大量实验,优化工艺参数,开发专属工艺方案。在工艺开发过程中,RPS 团队与客户保持密切沟通,及时反馈实验结果,根据客户意见调整工艺方案;完成工艺开发后,为客户提供详细的工艺操作手册,并进行技术培训,确保客户能够熟练掌握。晟鼎精密建立了庞大的 RPS 工艺数据库,涵盖多种材料与加工场景,可快速为客户提供基础工艺方案并进行优化。该 RPS 定制化工艺开发服务已为多个行业的客户解决了特殊加工难题,成为客户信赖的 RPS 技术合作伙伴。海南晟鼎RPS哪家强

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