RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,成为新产品研发的 “加速器”,帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段,RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品,供设计团队进行外观与结构检验;在功能性测试阶段,RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件,确保测试结果的准确性;在小批量试产阶段,RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件,验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控,从数据接收、工艺规划到生产交付,每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术,新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上,研发成本降低 20% 左右。目前,RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发,成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。在射频滤波器制造中实现压电薄膜的精确刻蚀。海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话

海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话,RPS

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源,针对第三代半导体(GaN、SiC)的加工特性进行了专项优化,成为该领域的中心加工设备。第三代半导体材料硬度高、脆性大,传统加工方式易产生表面损伤,RPS 通过中性自由基反应实现低损伤加工,避免表面微裂纹的产生。RPS 可精细控制工艺参数,适配 GaN、SiC 等材料的刻蚀与清洁需求,在保证加工精度的同时,比较大限度保护材料原有性能。在第三代半导体器件制造中,RPS 的高选择性刻蚀能力可实现不同材料层的精细分离,高深宽比加工能力满足器件微型化需求。该 RPS 设备运行稳定,工艺重复性强,可满足第三代半导体量产需求,目前已应用于功率器件、射频器件等产品的制造,为第三代半导体产业发展提供了关键的 RPS 技术支撑。河北远程等离子电源RPS石墨舟腔体清洗RPS远程等离子气体解离率高,效果可媲美进口设备。

海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话,RPS

三维NAND闪存堆叠层数的不断增加,对刻蚀后高深宽比结构的清洗带来了巨大挑战。其深孔或深沟槽底部的刻蚀残留物(如聚合物)若不能彻底清理 ,将严重影响后续多晶硅或钨填充的质量,导致电荷陷阱和器件性能劣化。在此RPS远程等离子源应用领域展现出其独特优势。由于等离子体在远程生成,其主要产物是电中性的自由基,这些自由基具有较好的扩散能力,能够无阻碍地深入深宽比超过60:1的结构底部,与残留物发生化学反应并将其转化为挥发性气体排出。相较于直接等离子体,RPS技术避免了因离子鞘层效应导致的清洗不均匀问题,确保了从结构顶部到底部的均匀清洁,且不会因离子轰击造成结构侧壁的物理损伤。这使得RPS远程等离子源应用领域成为3D NAND制造中实现高良率、高可靠性的主要 技术之一。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 资产追踪系统,为仓库、物流中心等场景提供高效的资产管理解决方案。RPS 基于射频指纹定位技术,通过蓝牙信标、超宽带等定位模块,实现对货物、设备等资产的实时位置追踪。该 RPS 系统可精细记录资产的移动轨迹,生成详细的位置报表,帮助管理人员快速查找目标资产,提高仓储管理效率。RPS 资产追踪系统具备多资产同时监测能力,支持批量资产的位置同步更新,定位误差控制在合理范围。在数据安全方面,RPS 系统采用加密传输技术,确保资产信息不被泄露;通过与 ERP 系统联动,RPS 实现资产位置与库存数据的实时同步,优化库存管理流程。目前,RPS 资产追踪方案已应用于多个行业的物流仓储环节,成为企业降本增效的重要 RPS 技术工具。为原子级制造提供精密表面处理基础。

海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话,RPS

高性能光学透镜、激光器和光通信器件对薄膜(如增透膜、高反膜)的附着力和长期稳定性要求极为苛刻。任何微弱的表面污染或附着力不足都可能导致薄膜在温度循环或高能激光照射下脱落。RPS远程等离子源应用领域在此发挥着关键的预处理作用。通过使用氧或氩的远程等离子体产生的自由基,能够在不引入物理损伤的前提下,彻底清洁光学元件表面,并使其表面能比较大化。这个过程能有效打破材料表面的化学键,形成高密度的悬空键和活性位点,使得后续沉积的薄膜能够形成牢固的化学键合,而非较弱的物理吸附。这不仅明显 提升了薄膜的附着力,还减少了界面缺陷,从而改善了光学薄膜的激光损伤阈值(LIDT)和环境耐久性,是制造高级 光学元件的必要工序。远程等离子体源RPS可以被集成到真空处理系统中,使得表面处理和材料改性的工艺更加灵活和高效。山东半导体RPS射频电源

在纳米材料转移过程中实现支撑层无损去除。海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话

RPS远程等离子源在医疗器械制造中的洁净保障在手术机器人精密零件清洗中,RPS远程等离子源采用特殊气体配方,将生物相容性提升至ISO10993标准。通过O2/H2O远程等离子体处理,将不锈钢表面细菌附着率降低99.9%。在植入式医疗器械制造中,RPS远程等离子源实现的表面洁净度达到ISO14644-1Class4级别,确保器件通过EC认证要求。RPS远程等离子源在新能源电池制造中的创新工艺在固态电池制造中,RPS远程等离子源通过Li/Ar远程等离子体活化电解质界面,将界面阻抗从1000Ω·cm²降至50Ω·cm²。在锂箔处理中,采用CF4/O2远程等离子体生成人工SEI膜,将循环寿命提升至1000次以上。量产数据显示,采用RPS远程等离子源处理的固态电池,能量密度达500Wh/kg,倍率性能提升3倍。海南远程等离子源处理cvd腔室RPS服务电话

与RPS相关的**
信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责