RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,在保证高精度的同时,具备操作便捷、维护简单的明显优势。RPS 设备采用人性化设计,配备直观的操作界面,操作人员经过简单培训即可上手操作。设备支持多种扫描模式一键切换,扫描参数可自动适配不同材质与颜色的扫描对象,降低操作难度。在维护方面,RPS 设备的中心部件采用模块化设计,更换便捷,减少维护时间;设备自带校准标定引导功能,指引操作者正确进行校准调节,避免不规范操作带来的影响。RPS 设备的便携式三角架承重达 10KG,移动灵活,可适应不同工作场景的使用需求。该 RPS 设备的平均无故障运行时间长,维护成本低,为用户带来了高效、经济的使用体验,成为精密测量领域的热门 RPS 产品。远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)作为一种先进的表面处理技术,正逐渐展现其独特的价值。国产RPS石英舟腔体清洗

国产RPS石英舟腔体清洗,RPS

远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)是一种用于产生等离子体的装置,它通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。RPS 通过将气体输送到装置中,利用电场或者磁场产生等离子体,然后将等离子体传输到需要处理的表面区域。与传统等离子体源不同的是,RPS 通常不直接接触要处理的表面,而是在一定距离之外产生等离子体,并将等离子体输送到目标表面,因此被称为“远程等离子体源”。远程等离子体源RPS的主要优点在于它可以实现对表面的均匀处理,而且对于一些敏感的表面或者材料,由于远离等离子体,因此减少了对表面的热和化学损伤。此外,远程等离子体源RPS可以被集成到真空处理系统中,使得表面处理和材料改性的工艺更加灵活和高效。浙江远程等离子源RPS型号适用于化合物半导体工艺的低温低损伤表面处理。

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远程等离子体源RPS腔体结构,包括进气口,点火口,回流腔连通电离腔顶端与进气腔靠近进气口一侧顶部,气体由进气口进入经过进气腔到达电离腔,点火发生电离反应生成氩离子然后通入工艺气体,通过出气口排出至反应室内,部分电离气体经回流腔流至进气腔内,提高腔体内部电离程度,以便于维持工艺气体的电离,同时可提高原子离化率;电离腔的口径大于进气腔,气体在进入电离腔内部时降低了压力,降低了F/O原子碰撞导致的原子淬灭问题,保证电离率,提高清洁效率。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS三维光学扫描设备,为模具修复提供了精细的数字化数据支撑,大幅提升修复效率与质量。模具在长期使用中易出现型腔磨损、裂纹等问题,传统修复依赖人工经验判断,精度难以保证,而RPS可快速扫描受损模具,生成高精度三维数据,与原始设计模型进行比对,自动识别损伤区域与损伤程度。RPS扫描的点云数据密度可达每平方毫米1000个点,能清晰呈现0.01mm级的细微磨损痕迹,为修复方案制定提供精确依据。在修复过程中,RPS可实时扫描修复区域,监控修复进度与尺寸精度,避免过度修复或修复不足。该RPS模具修复方案已应用于注塑模、压铸模等多种模具的修复场景,使模具修复周期缩短50%,修复后模具寿命恢复至新模的90%以上,成为模具维修领域的中心RPS工具。在OLED显示面板制造中确保大尺寸基板均匀清洗。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备标准化接口与强大的系统集成能力,可无缝融入企业现有生产体系。RPS 检具支持多种数据通信协议,可与三坐标测量机、激光扫描仪等检测设备联动,实现检测数据的共享与协同分析;通过标准化接口,RPS 检具可与工厂 MES、ERP 等管理系统对接,将检测数据实时上传至管理平台,实现生产质量的多面管控。在系统集成方面,晟鼎精密的工程师团队可根据企业现有生产流程,提供 RPS 检具的定制化集成方案,确保检测设备与生产设备、管理系统的高效协同。该 RPS 检具系统集成方案已帮助多家企业实现了质量检测的数字化、智能化升级,成为企业智能制造体系的重要组成部分。在生物传感器制造中提升检测灵敏度。安徽远程等离子源处理cvd腔室RPS常用知识

用于太空电子器件的抗辐射处理。国产RPS石英舟腔体清洗

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借超高精度成为医疗设备制造的中心检测工具。医疗设备零部件对尺寸精度与表面质量要求严苛,RPS 设备的测量精度可达 0.005mm,平均采样点距低至 0.03mm,能够精细捕捉复杂曲面的细微特征。RPS 采用蓝光窄带光源,抗干扰能力强,可有效避免环境光线对扫描结果的影响,确保数据真实性。在医疗设备研发阶段,RPS 可快速扫描样品,生成三维数据用于设计优化与功能性测试;在量产环节,RPS 通过快速批量扫描实现零部件质量筛查,及时发现尺寸偏差。该 RPS 设备支持多种数据格式输出,可与医疗设备设计软件无缝对接,加速产品研发周期。目前,RPS 已应用于手术器械、植入体等关键医疗部件的制造检测,为医疗设备的安全性与可靠性提供了有力的 RPS 技术保障。国产RPS石英舟腔体清洗

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