在光学领域，干涉仪扮演着无可替代的 “基准量具” 角色。其测量精度直接受到工作环境的影响，包括温度、湿度、气压波动等影响因素，尤其是温度控制的细微偏差，都可能成为测量结果失准的 “系统性误差源”。极测（南京）自研生产的精密环控系统，为干涉仪打造稳定的外部运行环境，包括精密温度控制，以及湿度稳定性，气压稳定性，噪声等。同时针对内部腔体区域采用局部气浴的模式，保证内部检测腔环境的稳定性，是许多半导体企业的选择。极测（南京）的售后服务团队，以高效、专业的服务，确保您的设备始终处于优良状态。陕西精密仪器精密温控
精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变，影响空气对光的折射波动；湿度波动会影响空气折射率，湿度过高还易造成电器故障；二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率；微振动会造成仪器设备等抖动，影响光路；电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测（南京）技术有限公司针对不同环境控制需求，提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃，湿度控制精度为 ±5~15%，洁净度等级为十万级到百级，采用恒温恒湿超净间；精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃，湿度控制精度为 ±2~5%，洁净度等级为万级到百级，采用精密恒温恒湿超净间；高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃，湿度控制精度为 ±2~5%，洁净度等级为千级到百级，采用高精密恒温恒湿超净间；超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃，湿度控制精度为 ±1~5%，洁净度等级为百级到十级，在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统，同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
四川光学精密温控极测（南京）技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀不断壮大。
晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀，还是封装环节，温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果，影响芯片的功能或造成短路或断路，导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚，凭借突破性的环境控制技术，为晶圆构建起无可比拟的操作空间，可实现±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等级精度的温度控制，及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度，相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化，极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破，主动调控外部温度，形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”，成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。
毫开尔文级控制：精密温控设备采用闭环气流循环系统，通过EC风机驱动气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部，实现关键区域温度波动控制在±2mK（静态），温度均匀性<16mK/m
动态响应机制：自主研发的高精密控温技术实现0.1%的控制输出精度，精密温控设备对外界环境变化实现毫秒级响应
洁净度标准：让尘埃无处遁形超越传统的洁净标准：精密温控设备通过多层高效粒子过滤器与动态气流管理，工作区洁净度达ISOClass3标准及以上，远超传统实验室的ISOClass5标准
微粒拦截：精密温控设备可拦截直径0.3μm的尘埃颗粒，杜绝因微粒污染导致的集成电路短路或光学传感器失效智能生态：看得见的稳定，可追溯的精zhun
环境“心电图”：精密温控设备智能监控系统自动生成带时间戳的温湿度曲线报告，支持一键导出，满足ISO17025等国际标准对数据完整性的要求
静音护航：精密温控设备采用EC风机与高效隔音材质，运行噪音<45dB，营造舒适工作环境
灵活架构：按需定制的环境解决方案模块化设计：精密温控设备采用可拆卸铝合金框架结构，支持大型设备现场组装，突破空间限制
按需定制：从温湿度稳定性、洁净度等级到抗微振、防磁、隔音性能，提供全场景非标定制服务 极测（南京）冷水机组冷冻水的出水温度蕞高精度可达±0.002℃，配置过载保护、液位监测、漏液检测等功能。
极测（南京）技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术，打造超精密温控关键能力：高精密控温技术：动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块，实时捕捉供水温度数据并传输至控制器，通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作，结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如，在半导体极紫外光刻工艺中，该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃，满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。极测精密温控设备已成为半导体企业、典型通信设备商、显示面板前列品牌及众多重量级实验室的合作伙伴。上海半导体量测精密温控
半导体洁净室中通常温度需要严格控制在20°C至25°C范围内，且温度波动不能超过±1°C。陕西精密仪器精密温控
合理的箱体结构有助于提升精密环控设备温湿度的均匀性和控制效果，例如双层保温结构、优化风道设计等，能增强精密环控设备的保温性能和控制精度。精密环控设备的外壳和内部材质应具备良好的耐磨性，部分还需要优良的保温性能，以延长精密环控设备的使用寿命。极测的精密环控柜采用合理的柜体结构设计，主柜体为内部精密组件提供稳固物理空间，同时采用可拆卸铝合金框架，方便大型设备在不同科研场所进行现场组装，其箱体采用的高质量钣金材质坚固耐用。 陕西精密仪器精密温控
