极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。在精密测量领域,细动误差是一个关键问题,它主要由难以察觉的机械振动或外部干扰引起。吉林激光制造精密温控
南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司凭借深厚的技术积淀,精心打造的精密温控箱罩设备,以其蕞高±0.002℃高精密温度控制及可实现洁净度十级以上的能力,成为三坐标测量仪的蕞佳拍档。目前精密温控箱罩已拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板前列企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。 在精密制造与检测领域,三坐标测量仪作为获取高精度尺寸数据的关键设备,其测量精度直接关系到产品质量与生产效率。而要确保三坐标测量仪稳定、精密地运行,精密温控箱罩起着不可或缺的作用。甘肃精密测量精密温控光学仪器行业通常要求相对湿度控制在40~60%RH之间,某些情况下可能要求更严格的范围,如45~55%RH。
毫开尔文级控制:精密温控设备采用闭环气流循环系统,通过EC风机驱动气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部,实现关键区域温度波动控制在±2mK(静态),温度均匀性<16mK/m
动态响应机制:自主研发的高精密控温技术实现0.1%的控制输出精度,精密温控设备对外界环境变化实现毫秒级响应
洁净度标准:让尘埃无处遁形超越传统的洁净标准:精密温控设备通过多层高效粒子过滤器与动态气流管理,工作区洁净度达ISOClass3标准及以上,远超传统实验室的ISOClass5标准
微粒拦截:精密温控设备可拦截直径0.3μm的尘埃颗粒,杜绝因微粒污染导致的集成电路短路或光学传感器失效智能生态:看得见的稳定,可追溯的精zhun
环境“心电图”:精密温控设备智能监控系统自动生成带时间戳的温湿度曲线报告,支持一键导出,满足ISO17025等国际标准对数据完整性的要求
静音护航:精密温控设备采用EC风机与高效隔音材质,运行噪音<45dB,营造舒适工作环境
灵活架构:按需定制的环境解决方案模块化设计:精密温控设备采用可拆卸铝合金框架结构,支持大型设备现场组装,突破空间限制
按需定制:从温湿度稳定性、洁净度等级到抗微振、防磁、隔音性能,提供全场景非标定制服务
极测精密恒温洁净棚还配备了智能运维系统。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线,操作人员可以直观地掌握环境变化情况;数据自动保存且可随时导出,运行状态与故障状态同步记录,方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。自动安全保护系统更是为设备的稳定运行提供了全天候保障,一旦出现异常,系统将立即启动保护机制,减少因故障导致的测量中断和晶圆报废。 极测先进的环境控制技术,为晶圆操作空间树立了新的行业标准。精密恒温洁净棚不仅解决了半导体制造中环境控制的难题,更为芯片的高精度制造和研发提供了坚实的保障。随着半导体技术的不断发展,对晶圆操作环境的要求也将越来越高,而极测精密恒温洁净棚,必将在未来的产业发展中发挥更加重要的作用,助力我国半导体产业迈向新的高度。极测(南京)拥有自己的工厂,能够有效地将研发成果转化为实际产品。
极测在温度控制方面蕞高可实现令人惊叹的 ±0.002℃温度控制精度。这一精度意味着,在整个晶圆操作过程中,环境温度几乎保持绝dui稳定,温度水平均匀性小于 16mK/m,几乎消除了因温度变化对晶圆产生的热应力和尺寸误差。在洁净度方面,精密恒温洁净棚通过空气过滤系统和气流组织设计,实现了蕞高优于 ISO class1 的洁净度等级,远超普通洁净室的标准。 除了高精度的温度和洁净度控制,极测精密恒温洁净棚还具备全场景非标定制能力。根据不同客户的需求和晶圆操作工艺的特点,可以灵活调整温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数。无论是高duan芯片制造企业,还是科研机构的晶圆研发项目,都能在这里找到蕞适合的环境解决方案。精密恒温洁净棚现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。极测(南京)深凭借在微环境控制领域的深厚技术积累,为高duan半导体量测设备设计精密环控系统。0.002精密温控单元
静谧运行:应用 EC 风机与高效隔音材料,运行噪音低于 45dB,避免噪音对精密操作产生干扰。吉林激光制造精密温控
极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术,打造超精密温控关键能力:高精密控温技术:动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块,实时捕捉供水温度数据并传输至控制器,通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作,结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如,在半导体极紫外光刻工艺中,该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃,满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。吉林激光制造精密温控