在半导体、光学、精密制造等领域,环境控制精度往往决定了技术突破的成败。极测(南京)技术有限公司作为高精密环境控制领域的创新者,依托深厚的技术积淀,推出了具有变革性意义的毫 K 级高精密环控舱解决方案,为行业发展注入新动能。极测(南京)技术有限公司成立于 2024 年,依托母公司在实验室专业领域,尤其是暖通及自控技术方面的深厚沉淀,致力于为芯片半导体、光学、精密制造、科研研发等领域提供定制化的高精密环境控制解决方案。公司现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板前列企业与国家重点实验室,在众多科研与生产场景中展现出的高精密环境控制技术实力。 同时,公司拥有自己的工厂,能够高效地将研发成果转化为实际产品,为客户提供高质量的设备和服务。此外,公司还组建了专业的售后服务团队,确保客户高精密环境控制设备稳定运行,全方wei提升客户满意度。静谧运行:应用 EC 风机与高效隔音材料,运行噪音低于 45dB,避免噪音对精密操作产生干扰。河南极测(南京)精密温控
高精密环控柜由我司自主研发,是一款精密环境控制产品,可实现ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力,能针对用户的个性化需求(如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等)提供解决方案。设备运行数据实时记录查询,且配备自动安全保护系统,确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等,主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式,通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求,采用大风量小温差设计,通过空气快速循环过滤带走余热,使温度波动保持在极低数值(关键区域 ±0.002℃);并通过多级控温(先经表冷盘降温,再由多级电加热逐步升温),将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。黑龙江精密温控解决方案我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的综合环境配套系统。
极测方案:蕞高±0.002℃精密温控,铸就测量 “计量基准”控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内,确保测量过程的稳定性和 0.1% 的控制输出精度。
湿度与洁净协同保障:设备同时实现 ±0.5%@8h 的高湿度稳定性,杜绝因湿度问题导致的零部件腐蚀和镜片结雾风险。洁净度控制可达百级以上,关键工作区蕞高优于 ISO class3 标准,严防尘埃颗粒干扰精密光路。
全方wei环境定制:极测具备强大的全场景非标定制能力,不仅能满足严苛的温湿度稳定性需求,还能根据用户具体场景定制抗微振、防磁、隔音等综合环境参数,为干涉仪量身打造理想的工作空间。
在众多精密环控设备供应商中,极测(南京)技术有限公司值得关注。作为南京拓展科技旗下企业,极测(南京)凭借深厚的技术沉淀与持续的创新热忱,在行业内崭露头角。该公司拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,涵盖温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等个性化需求。其研发的精密环控柜蕞高可实现±0.002℃高精密温度控制,以及洁净度十级的洁净环境,已成功为光刻机、激光干涉仪等精密仪器提供稳定工作环境,服务了多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室。 例如,光刻工艺中,微小的温度波动会导致曝光位置的漂移,进而影响线路的精确度。
半导体制造:光刻工艺的“守护神”在芯片光刻环节,温度波动Jin0.1℃就足以导致光学元件热变形,造成曝光位置漂移。极测精密温控设备提供的±0.002℃恒温环境,使光刻机光学系统保持稳定,直接提升芯片良品率。在蚀刻工艺中,温湿度波动可能引发刻蚀过度或不足。精密温控设备提供的稳定环境保障了刻蚀速率的均匀性,确保芯片电路完整性。航空航天:微米级精度的幕后功臣航空发动机涡轮叶片加工中,0.05℃的温度波动可能导致机床热变形,使叶片加工精度不达标。极测精密温控设备维持的恒温环境,保障了叶片曲面精度和表面质量。在航空航天材料测试环节,设备将湿度波动精确控制在±2%RH内,满足极端严苛的测试要求。光学仪器:纯净与稳定的双重保障在光学镜片研磨中,温度波动会导致研磨盘与镜片材料热膨胀系数差异,影响镜片曲率精度。恒温环境确保研磨精度稳定。同时,洁净环境防止镜片表面污染,避免后续镀膜工序产生缺陷。新能源电池:水分与温度的双重管控在电极涂布工艺中,湿度变化会影响浆料水分含量,导致涂布不均匀。极测精密温控设备提供的±0.5%RH湿度稳定性,确保电极涂布一致性。在电池组装环节,恒温环境避免了不同材料热胀冷缩差异导致的密封不良问题。系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境(每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个)。重庆科研实验精密温控
控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。河南极测(南京)精密温控
在半导体制造领域,每一纳米的变化都可能直接影响芯片的性能与良率。作为高精度检测的关键环节,半导体量测设备(如电子显微镜、膜厚测量仪、OCD量测等)自身对运行环境的要求也极为苛刻。环境的细微波动,都会引入测量误差。 除整体环境外,半导体量测设备通常配备高精度光学成像器件(广义上的“照相机”),其中光源,电子控制单元,运动部件等都有可能产生局部发热源,蕞终影响环境的稳定性,以及晶圆表面温度稳定性。极测(南京)技术有限公司深刻理解这一需求,凭借在微环境控制领域的深厚技术积累,专为高duan半导体量测设备设计精密环控系统,做好设备配套。系统由设备主柜体(设备维护结构模块)、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。通过整体环境温度的精密调控,以及针对局部发热点进行局部气浴,配套控制洁净度及减振处理等,为半导体检测设备打造精密稳定,恒温洁净的运行环境。河南极测(南京)精密温控