高精密冷冻水机组是一种专为工业及特殊环境设计的制冷设备,通过精确的温度控制和高效制冷循环,为高精度制造、数据中心、医药生产等领域提供稳定可靠的冷却解决方案。其关键特点在于高能效、低波动性及智能化控制,满足严苛的温控需求。极测(南京)技术有限公司采⽤⾃研温控技术,高精密冷冻水机组冷冻⽔的出⽔温度蕞⾼精度可达±0.002℃。高精密冷冻水机组采用国际有名品牌压缩机,配套高质量高效能铜管制作的板式换热器及有名品牌电气元器件。使机组具有精度高、体积小、噪音低、寿命长、操作简便、高效节能等优点。高精密冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度数值并传输给控制器,冷冻水阀无级调节、无级调节电加热器、模拟量控制加湿器可根据实际实验舱需求调节输出功率。专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法,在运行过程中进行比例、积分、微分的计算并输出控制,使实验室内温度湿度处于稳定状态,绝dui焓湿量的控制策略,使控制实验舱内湿度控制快速准确,没有误操作误判断。极测(南京)技术有限公司,作为成熟的高精密环境控制设备制造商,专注于高精密事业创新与发展。河南拓展科技精密温控
作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的关键企业,极测(南京)技术有限公司打造的超精密仪器室,通过集成自主研发的高精密微环境控制系统,为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高(洁净恒温)的理想工作环境,精密仪器室成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
纳米级温控,超高精度温度波动极测运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,使得环境内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制。为精密仪器打造高精密恒温稳定操作环境。 蕞高ISO class1级洁净,打造无尘空间精密仪器室系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),达到ISO class1,避免灰尘等污染物影响光线传播。设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长精密仪器使用寿命。 全场景非标定制,满足多元化需求精密仪器室可根据用户需求,满足用户不同的温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等多样化的个性要求,保证用户的正常使用。
OCD量测精密温控厂家洁净室内需配置无尘空气过滤与流通系统,保证气流分布合理,无死角,使洁净空气充分到达每个角落。
极测(南京)致力于为全球高精密需求用户打造超精密稳定的研发与生产环境,专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统,目前已拥有结合全场景非标定制能力,满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。科学技术成果认定为国际先进水平。服务行业覆盖:半导体芯片、精密光学、精密测量、新能源、航空航天、通信技术等行业。极测在新技术浪潮中奋力向前,攀登环境控制新高度!为用户提供精zhun、稳定、可靠的高精密环境!
在半导体、光学、精密制造等领域,环境控制精度往往决定了技术突破的成败。极测(南京)技术有限公司作为高精密环境控制领域的创新者,依托深厚的技术积淀,推出了具有变革性意义的毫 K 级高精密环控舱解决方案,为行业发展注入新动能。极测(南京)技术有限公司成立于 2024 年,依托母公司在实验室专业领域,尤其是暖通及自控技术方面的深厚沉淀,致力于为芯片半导体、光学、精密制造、科研研发等领域提供定制化的高精密环境控制解决方案。公司现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板前列企业与国家重点实验室,在众多科研与生产场景中展现出的高精密环境控制技术实力。 同时,公司拥有自己的工厂,能够高效地将研发成果转化为实际产品,为客户提供高质量的设备和服务。此外,公司还组建了专业的售后服务团队,确保客户高精密环境控制设备稳定运行,全方wei提升客户满意度。系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境(每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个)。
这款高精密环控柜是我司单独研发的精密环境控制设备,可达成ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力,能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能,并配备自动安全防护系统,确保长期稳定运行。其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统及局部气浴等,专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用“外环境保障相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量”的逻辑,通过精zhun控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求,采用大风量小温差设计,快速循环过滤空气并带走余热,使关键区域温度波动低至±0.002℃;同时通过多级控温(表冷盘降温+多级电加热升温),将精度从±0.1℃逐步提升至±0.002℃。极测(南京)深凭借在微环境控制领域的深厚技术积累,为高duan半导体量测设备设计精密环控系统。甘肃芯片精密温控
极测(南京)的售后服务团队,以高效、专业的服务,确保您的设备始终处于优良状态。河南拓展科技精密温控
极测(南京)关键技术市如何适配半导体严苛需求的?毫 K 级控温的技术密码专li级 PID + 逐级控温:通过 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专li,结合自主研发温度采集模块与多级制冷回路设计,实现对蚀刻机腔体温度的±0.001℃级控制,例如在 EUV 光刻机中,可确保光刻胶曝光时的热形变小于 1 纳米;板式换热器强化传热:微通道结构与不锈钢材质提升换热效率 30% 以上,同时避免铜离子污染(半导体行业忌用材质),满足晶圆制造对水质纯净度的要求。抗干扰与快速响应能力双压缩机冗余设计:在晶圆厂 24 小时连续生产中,单压缩机故障时备用模块可在快速自动切入,避免因停机导致的工艺中断;变频技术动态调温:通过压缩机变频调节制冷量,在芯片测试环节面对多工位负载切换时,温度恢复时间很大缩短。河南拓展科技精密温控