极测(南京)专注精密环境控制解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等,持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期,本土供应链的完善与升级至关重要。极测(南京)技术此次业绩表现,不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破,展现出强劲的增长态势,更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升,为后续发展奠定了坚实基础。极测(南京)高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。半导体量测精密温控采购
考虑到不同生产车间的布局需求,极测精密环控设备采用可拆卸铝合金框架,大型设备可在现场便捷组装,节省安装时间与成本。箱体采用高质量钣金材质,不仅坚固耐用,还可根据客户需求定制外观颜色,融入不同的工作环境。设备运行时,采用 EC 风机和高效隔音材质,实现静音高效运转,噪音低于 45dB,为操作人员营造安静舒适的工作环境,避免噪音干扰测量操作和数据分析。 自推出以来,极测精密环控设备已成功为众多企业的三坐标测量仪提供了稳定可靠的工作环境,赢得了赞誉。在制造业对高精度、高效率生产要求日益提升的如今极测精密环控设备为精密制造和质量检测奠定坚实基础,助力企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。键合设备精密温控技术极测(南京)高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度。
在半导体制造、精密光学检测等领域,环境参数的微小偏差都可能导致产品性能大幅下降。想要实现波动 ±0.005℃的精密温度控制与 ISO Class 3 的洁净度,需要突破传统环境控制的技术瓶颈。 南京拓展科技旗下企业,极测(南京)作为专业的精密温控设备供应商,其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃,洁净度可达一级(优于ISO class1),这一数据在行业内处于前列水平。为精密制造和精密仪器的运行提供了可靠的环境保障。精密温控设备现已服务多家芯片半导体令页军企业,以及国家重点实验室。精密温控通过以下方式根据用户的不同需求进行设备的非标定制。
极测(南京)关键技术市如何适配半导体严苛需求的?毫 K 级控温的技术密码专li级 PID + 逐级控温:通过 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专li,结合自主研发温度采集模块与多级制冷回路设计,实现对蚀刻机腔体温度的±0.001℃级控制,例如在 EUV 光刻机中,可确保光刻胶曝光时的热形变小于 1 纳米;板式换热器强化传热:微通道结构与不锈钢材质提升换热效率 30% 以上,同时避免铜离子污染(半导体行业忌用材质),满足晶圆制造对水质纯净度的要求。抗干扰与快速响应能力双压缩机冗余设计:在晶圆厂 24 小时连续生产中,单压缩机故障时备用模块可在快速自动切入,避免因停机导致的工艺中断;变频技术动态调温:通过压缩机变频调节制冷量,在芯片测试环节面对多工位负载切换时,温度恢复时间很大缩短。光学仪器行业通常要求相对湿度控制在40~60%RH之间,某些情况下可能要求更严格的范围,如45~55%RH。
作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的关键企业,极测(南京)技术有限公司打造的超精密仪器室,通过集成自主研发的高精密微环境控制系统,为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高(洁净恒温)的理想工作环境,精密仪器室成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
纳米级温控,超高精度温度波动极测运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,使得环境内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制。为精密仪器打造高精密恒温稳定操作环境。 蕞高ISO class1级洁净,打造无尘空间精密仪器室系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),达到ISO class1,避免灰尘等污染物影响光线传播。设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长精密仪器使用寿命。 全场景非标定制,满足多元化需求精密仪器室可根据用户需求,满足用户不同的温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等多样化的个性要求,保证用户的正常使用。
精密测量要求环境高度洁净,以防止微粒、尘埃和颗粒物影响测量精度。可以使用HEPA过滤器、洁净工作台等。科研实验精密温控制造
静谧运行:应用 EC 风机与高效隔音材料,运行噪音低于 45dB,避免噪音对精密操作产生干扰。半导体量测精密温控采购
极测在温度控制方面蕞高可实现令人惊叹的 ±0.002℃温度控制精度。这一精度意味着,在整个晶圆操作过程中,环境温度几乎保持绝dui稳定,温度水平均匀性小于 16mK/m,几乎消除了因温度变化对晶圆产生的热应力和尺寸误差。在洁净度方面,精密恒温洁净棚通过空气过滤系统和气流组织设计,实现了蕞高优于 ISO class1 的洁净度等级,远超普通洁净室的标准。 除了高精度的温度和洁净度控制,极测精密恒温洁净棚还具备全场景非标定制能力。根据不同客户的需求和晶圆操作工艺的特点,可以灵活调整温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数。无论是高duan芯片制造企业,还是科研机构的晶圆研发项目,都能在这里找到蕞适合的环境解决方案。精密恒温洁净棚现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。半导体量测精密温控采购