极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的专长,同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师,致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景,科学技术成果认定为国际先进水平。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。上海精密温控控制系统
打造高“温度精度”,避免热致误差温度是影响测量精度的首要因素。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统,能够实现高温度精度和稳定性。蕞高将内部环境温度波动控制在极小的范围内(±2mK),确保每一次测量数据的重复性与可靠性。超净空间,避免微粒污染除了温控精度,洁净度同样至关重要。悬浮微粒一旦沉积在晶圆或设备光学镜头上,将造成缺陷或信号干扰。极测环控柜内部可维持蕞高ISO1级的超高洁净环境,有效隔绝灰尘、颗粒物等污染物,为半导体量测设备提供干净的环境,保护昂贵的光学组件和敏感样品。智能集成,一站式环境配套我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的综合环境配套系统。支持根据您设备的特定型号和工艺要求进行非标定制,匹配不同半导体量测设备的精密需求。设备智能管理系统提供7x24小时实时数据监控与记录,所有环境参数一目了然,数据可追溯,为质量分析和故障排查提供坚实依据。河北精密温控解决方案通过整体环境温度的精密调控,以及针对局部发热点进行局部气浴,配套控制洁净度及减振处理等。
在半导体制造、精密光学检测等领域,环境参数的微小偏差都可能导致产品性能大幅下降。想要实现波动 ±0.005℃的精密温度控制与 ISO Class 3 的洁净度,需要突破传统环境控制的技术瓶颈。 南京拓展科技旗下企业,极测(南京)作为专业的精密温控设备供应商,其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃,洁净度可达一级(优于ISO class1),这一数据在行业内处于前列水平。为精密制造和精密仪器的运行提供了可靠的环境保障。精密温控设备现已服务多家芯片半导体令页军企业,以及国家重点实验室。精密温控通过以下方式根据用户的不同需求进行设备的非标定制。
三坐标测量仪通过探针接触或非接触式光学扫描等方式,对工件的尺寸、形状和位置进行精确测量。在测量过程中,环境温度的细微变化会引发测量仪自身结构以及被测工件的热胀冷缩。例如,当温度波动 1℃时,对于长度为 1 米的金属工件,其长度变化可达 10 微米左右,这在高精度测量中是不容忽视的误差来源。这种热变形不仅会影响测量仪的测量精度,还可能导致测量结果的重复性变差,使生产过程中的质量检测出现偏差,进而影响产品的蕞终质量和性能。除了温控精度与洁净度,系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH,压力波动控制在±3Pa以内。
在半导体制造的精密领域,每一个细微的温度变化,都可能对芯片的性能产生重大影响。南京拓展科技旗下企业,极测(南京)作为专业的精密温控设备供应商,其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃,洁净度可达一级(优于ISO class1),这一数据在行业内处于前列水平,为更高精度的芯片半导体制造提供了可靠的环境保障。 极测(南京)投入大量资源进行技术研发,致力于为半导体制造提供高精度、高稳定性的温控设备。以其成熟的技术和创新的解决方案,为半导体制造精度构筑起一道坚实的防线。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。激光精密温控定制
极测(南京)高精密环控设备用于芯片加工、元器件组装等场景,避免热应力对精密元件的影响,提升良品率。上海精密温控控制系统
半导体制造:光刻工艺的“守护神”在芯片光刻环节,温度波动Jin0.1℃就足以导致光学元件热变形,造成曝光位置漂移。极测精密温控设备提供的±0.002℃恒温环境,使光刻机光学系统保持稳定,直接提升芯片良品率。在蚀刻工艺中,温湿度波动可能引发刻蚀过度或不足。精密温控设备提供的稳定环境保障了刻蚀速率的均匀性,确保芯片电路完整性。航空航天:微米级精度的幕后功臣航空发动机涡轮叶片加工中,0.05℃的温度波动可能导致机床热变形,使叶片加工精度不达标。极测精密温控设备维持的恒温环境,保障了叶片曲面精度和表面质量。在航空航天材料测试环节,设备将湿度波动精确控制在±2%RH内,满足极端严苛的测试要求。光学仪器:纯净与稳定的双重保障在光学镜片研磨中,温度波动会导致研磨盘与镜片材料热膨胀系数差异,影响镜片曲率精度。恒温环境确保研磨精度稳定。同时,洁净环境防止镜片表面污染,避免后续镀膜工序产生缺陷。新能源电池:水分与温度的双重管控在电极涂布工艺中,湿度变化会影响浆料水分含量,导致涂布不均匀。极测精密温控设备提供的±0.5%RH湿度稳定性,确保电极涂布一致性。在电池组装环节,恒温环境避免了不同材料热胀冷缩差异导致的密封不良问题。上海精密温控控制系统