极测(南京)技术有限公司注重设备的稳定性和可靠性。通过严格的质量检测和优化设计,确保设备在长时间运行过程中保持稳定性能,减少故障发生的概率。同时,极测还提供完善的售后服务,及时响应客户的需求,为客户解决设备使用过程中遇到的问题。 作为精密温控设备供应商,极测(南京)始终将守护半导体制造精度作为使命。凭借前列的技术、可靠的产品和高质量的服务,极测正在成为半导体制造企业信赖的合作伙伴,为推动半导体产业的发展贡献力量。极测(南京)专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统,目前已拥有结合全场景非标定制能力。甘肃半导体量测精密温控
立式干涉仪作为精密测量的关键设备,基于光的干涉原理工作,通过测量干涉条纹变化精确测定物体长度、角度、表面平整度等参数,精度可达纳米级别。但也正因如此,其对工作环境的微小变化极为敏感。温度波动会致使干涉仪的光学元件、机械结构以及被测物体热胀冷缩,如光学镜片的热变形会改变光线传播路径,进而使干涉条纹位移,在高精度测量中引入不可忽视的误差,严重影响测量准确性与可靠性。极测微环境控制系统运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时,光学元件与机械结构不受温度波动干扰,始终维持在蕞佳工作状态,微环境控制系统为精zhun测量提供稳定基础。 精密制造精密温控厂家半导体生产设备精密且昂贵,因此应采取相应的抗振措施。例如,在设备底部设置减振支座或弹簧隔振器等。
晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀,还是封装环节,温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果,影响芯片的功能或造成短路或断路,导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚,凭借突破性的环境控制技术,为晶圆构建起无可比拟的操作空间,可实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制,及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度,相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化,极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破,主动调控外部温度,形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”,成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。
在光学领域,干涉仪扮演着无可替代的 “基准量具” 角色。其测量精度直接受到工作环境的影响,包括温度、湿度、气压波动等影响因素,尤其是温度控制的细微偏差,都可能成为测量结果失准的 “系统性误差源”。极测(南京)自研生产的精密环控系统,为干涉仪打造稳定的外部运行环境,包括精密温度控制,以及湿度稳定性,气压稳定性,噪声等。同时针对内部腔体区域采用局部气浴的模式,保证内部检测腔环境的稳定性,是许多半导体企业的选择。在精密测量领域,细动误差是一个关键问题,它主要由难以察觉的机械振动或外部干扰引起。
精zhun定位客户之需为先导,高效执行确保质量至上为关键,极测(南京)致力于为客户提供定制化的服务方案。我们灵活应变,以创新为驱动引擎,不断突破技术边界;同时,持续跟踪项目进展,确保服务无忧,赢得客户长久信赖。秉承诚信为本的经营理念,我们与客户携手并进,共铸行业辉煌,成为一家深度赋能行业、广受赞誉的高精密环境服务商。我们深知,专业的售后服务是保障客户设备稳定运行、提升客户满意度的重要一环。因此,我们特别组建了一支单独且专业的售后服务团队,以全mian、高效、专业的服务,确保您的设备始终处于优良状态。极测(南京)致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案。高精密恒温恒湿精密温控棚
系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。甘肃半导体量测精密温控
高精密环控柜由我司自主研发,是一款精密环境控制产品,可实现ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力,能针对用户的个性化需求(如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等)提供解决方案。设备运行数据实时记录查询,且配备自动安全保护系统,确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等,主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式,通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求,采用大风量小温差设计,通过空气快速循环过滤带走余热,使温度波动保持在极低数值(关键区域 ±0.002℃);并通过多级控温(先经表冷盘降温,再由多级电加热逐步升温),将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。甘肃半导体量测精密温控