精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变,影响空气对光的折射波动;湿度波动会影响空气折射率,湿度过高还易造成电器故障;二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率;微振动会造成仪器设备等抖动,影响光路;电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测(南京)技术有限公司针对不同环境控制需求,提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃,湿度控制精度为 ±5~15%,洁净度等级为十万级到百级,采用恒温恒湿超净间;精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为万级到百级,采用精密恒温恒湿超净间;高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为千级到百级,采用高精密恒温恒湿超净间;超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃,湿度控制精度为 ±1~5%,洁净度等级为百级到十级,在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统,同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法,使实验室内温度湿度处于稳定状态。0.002精密温控参数
高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C,湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH,洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。电磁屏蔽精密温控公司我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的综合环境配套系统。
极测(南京)致力于为全球高精密需求用户打造超精密稳定的研发与生产环境,专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统,目前已拥有结合全场景非标定制能力,满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。科学技术成果认定为国际先进水平。服务行业覆盖:半导体芯片、精密光学、精密测量、新能源、航空航天、通信技术等行业。极测在新技术浪潮中奋力向前,攀登环境控制新高度!为用户提供精zhun、稳定、可靠的高精密环境!
极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的专长,同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师,致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景,科学技术成果认定为国际先进水平。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。稳定电子元件内部结构,应用于超声波清洗、真空镀膜等场景,防止清洗剂挥发并保障镀膜质量。
在实际应用中,极测的温控设备已经在众多半导体制造企业中发挥了重要作用。某有名芯片制造企业在引入极测的温控设备后,光刻工艺的精度得到了明显提升。由于温度控制更加精zhun,芯片上的电路图案更加清晰、准确,有效减少了因温度问题导致的图案偏差和缺陷,产品良率大幅提高。现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。 同时极测(南京)具备全场景非标定制能力。可根据不同客户的需求根据温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数,进行灵活定制。系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。光学元件精密温控柜
半导体洁净室中通常温度需要严格控制在20°C至25°C范围内,且温度波动不能超过±1°C。0.002精密温控参数
半导体制造中键合设备对环境要求极高,需在恒温、恒湿、高洁净的环境中运行,同时严格控制振动与静电。这些要求旨在确保键合界面的材料活性稳定、设备机械精度达标,避免因温湿度波动导致的键合偏差、颗粒污染引发的界面缺陷或静电损坏芯片,从而保障微米级至亚微米级键合精度及产品良率与可靠性。 精密洁净间的主柜体为内部精密组件构筑起稳固的运作空间;依托高精密控温技术,以0.1%的精密控制输出精度。此外,精密洁净间设备配备的气流循环系统,通过风机驱动气流定向循环,结合高效洁净过滤器,不仅能确保设备内部温度均匀分布,更能达到百级以上的超高洁净标准,工作区域洁净度蕞高优于ISO class3,为半导体光刻机、键合设备等对环境要求严苛的精密仪器,打造了近乎完美的研发生产环境。0.002精密温控参数