随着集成电路技术的发展，半导体封装技术也在不断创新和改进，以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案，能够满足先进半导体封装的要求，被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑，并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前，基板上如果存在污染物，银胶容易形成圆球状，降低芯片粘结度。因此，在DB工艺前，需要进行等离子处理，提高基板表面的亲水性和粗糙度，有利于银胶的平铺及芯片粘贴，提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量，降低成本。plasma等离子清洗机活化可确保对塑料、金属、纺织品、玻璃、再生材料和复合材料进行特别有效的表面改性。四川国产等离子清洗机技术参数
光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。浙江晶圆等离子清洗机产品介绍等离子表面处理技术可以活化材料表面，提高材料的附着力，使电镀、喷涂、印刷、点胶等工艺，效果更加优异。
plasma等离子清洗机原理将产品放入反应腔体内部，启动设备，真空泵将开始抽气，腔体内部气压下降，同时维持放应真空度；启动等离子发生器，腔体内部电极间生产高压交变电场，工艺气体放应生成等离子体；等离子体与物体表面污染物碰撞、反应，生产挥发性物质，被真空泵抽走，从而达到清洁活化的目标。plasma等离子清洗机优势：1、反应过程无需水参与，避免湿法工艺处理后，需要干燥处理的麻烦；2、无需湿法工艺处理后，废水、废弃溶剂的处理，降低了成本；3、表面处理效果强，清洗的同时还能表面活化改性，提高粘合力；4、处理过程短，整个过程反应高效快捷，解决表面处理难题；
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于jihuo状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子处理是一种常用的表面处理技术，通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面。
等离子清洗机在处理样品表面时，不会对样品造成损伤，而且不会产生有害的废液或废气，是一种环保、安全的表面处理方法。同时，等离子清洗机还具有高效、快速、均匀等特点，可以有效地提高表面的附着力和亲水性，从而使得涂层更加均匀、牢固。等离子清洗机在各个领域都有广泛的应用，如电子行业中的半导体制造、光学行业中的光学薄膜处理、机械行业中的表面改性、医学行业中的医疗器械消毒等。通过使用等离子清洗机，可以实现表面清洁、去污、活化、蚀刻、涂覆等多种处理，从而提高了产品的质量和性能。在线式等离子清洗机在IC封装行业中的应用越来越广。重庆真空等离子清洗机24小时服务
等离子处理通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面，从而改变表面性质。四川国产等离子清洗机技术参数
在芯片封装技术中，等离子体清洗已成为提高成品率的必由之路。先进的倒装芯片设备在市场上越来越突出，微波等离子体工艺在穿透模具下面的微小间隙方面。所有表面，无论模具下的体积大小，都被完全调节。达因特生产的等离子体清洗机都能很好的处理，提供粘合性和显著提高的粘附速度。适用范围远远超出20x20毫米和50微米凸起的模具尺寸。用于显示器制造的大型基板的均匀等离子体清洗需要一个可扩展的系统概念。等离子体系统正是为这类应用而设计的，能够提供快速、均匀的清洗或剥离效果。等离子体过程得益于高的自由基浓度和等离子体密度以及低的过程诱导加热。良好的均匀性对于在单个基板上保持良好的过程控制以及运行到运行的重复性至关重要。四川国产等离子清洗机技术参数
