光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。等离子清洗机利用高能粒子与有机材料表层产生的物理学或化学变化,以解决活性、蚀刻工艺等原材料表层问题。江苏半导体封装等离子清洗机厂家推荐
等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。等离子清洗机的主要作用机理是通过产生等离子体来处理样品表面,使得表面变得更加清洁、活化或蚀刻。等离子体是一种由离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等组成的特殊状态,它具有极高的化学活性,可以有效地与样品表面发生反应,从而清洁表面或改变表面的性质。江苏半导体封装等离子清洗机厂家推荐全自动等离子表面处理机结合了自动化优势,可以搭载生产线进行工作,带来稳定持续的处理效果。

随着集成电路技术的发展,半导体封装技术也在不断创新和改进,以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案,能够满足先进半导体封装的要求,被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,需要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量,降低成本。
Plasma封装等离子清洗机作为精密制造中的关键设备之一,其市场需求持续增长。特别是在微电子、半导体、光电、航空航天等高科技领域,Plasma封装等离子清洗机的应用前景更加广阔。据市场研究机构预测,未来几年内,全球Plasma封装等离子清洗机市场将保持快速增长态势,年复合增长率将达到较高水平。同时,随着技术的不断成熟和成本的逐步降低,Plasma封装等离子清洗机也将逐步向更广泛的应用领域拓展,如生物医药、新能源、环保等领域。未来,随着智能制造和工业互联网的深入发展,Plasma封装等离子清洗机将与其他智能制造设备实现无缝对接和协同工作,共同推动制造业向更高水平、更高质量发展。常温等离子清洗机原理在于“等离子体”,通过气体放电形成,可以在常温、常压的状态下进行产品的处理。

半导体芯片作为现代电子设备的组成部分,其质量和可靠性对整个电子行业至关重要。Die Bonding是将芯片装配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有机物污染和氧化膜,芯片背面硅晶体的浸润性等均会对粘接效果产生影响,传统的清洗方法已经无法满足对芯片质量的要求。使用微波plasma等离子清洗机处理芯片表面能有效地清洁并改善表面的浸润性,从而提升芯片粘接的效果。微波是指频率在300MHz-300GHz之间的电磁波,波长约1mm-1m,具有机动性高、工作频宽大的特性,使用微波发生器配1.25KW电源产生微波将微波能量馈入等离子腔室内,使微波能量在低压环境下形成等离子体。等离子清洗机活化可确保对塑料、金属、纺织品、玻璃、再生材料和复合材料进行特别有效的表面改性。贵州plasma等离子清洗机服务电话
使用等离子清洗机对汽车门板进行预处理,可以去除表面污染物和残留物,提高表面的清洁度和活性。江苏半导体封装等离子清洗机厂家推荐
等离子清洗机对氮化硅的处理效果是十分明显的,在未处理前,石墨舟表面的氮化硅残质颜色清晰,与石墨舟本质具有明显的差别,且氮化硅残质遍布舟片内外;经等离子体处理后,凭目视观测,石墨舟内外表面已无明显的氮化硅残质,原先残留的部分其颜色已恢复为本质颜色。等离子清洗机处理石墨舟氮化硅残质具有以下优势:1.高效去除:等离子清洗机能够利用高能离子束有效地去除石墨舟表面的氮化硅薄膜。与传统的湿法清洗相比,等离子清洗的去除效率更高,可以缩短清洗时间。2.不损伤表面:等离子清洗过程是一个物理和化学相结合的过程,可以精确控制对石墨舟表面的作用力度,因此不会对石墨舟表面造成损伤。3.环保安全:等离子清洗机在清洗过程中不使用任何有害的化学物质,避免了废液的产生和处理问题,对环境友好,且操作安全,还可以降低清洗成本。4.易于自动化和集成:等离子清洗机可以与生产线上的其他设备集成,实现自动化生产,提高生产效率。5.广泛的应用前景:随着全球对绿色能源的需求不断增加,光伏行业正在快速发展。等离子清洗机作为一种高效、环保的清洗技术,将在光伏行业的石墨舟清洗领域发挥更大的作用。江苏半导体封装等离子清洗机厂家推荐