扬州江化微的蚀刻液剥离液销售价格

图2为本申请实施例提供的剥离液机台的第二种结构示意图。图3为本申请实施例提供的剥离液机台的第三种结构示意图。图4为本申请实施例提供的剥离液机台的第四种结构示意图。图5为本申请实施例提供的剥离液机台的工作方法的流程示意图。具体实施方式目前剥离液机台在工作时，如果过滤剥离光阻时产生的薄膜碎屑的过滤器被阻塞，则需要剥离液机台内的所有工作单元，待被阻塞的过滤器被清理后，才能重新进行剥离制程，使得机台需频繁停线以更换过滤器，极大的降低了生产效率。请参阅图1，图1为本申请实施例提供的过滤液机台100的种结构示意图。本申请实施例提供一种剥离液机台100，包括：依次顺序排列的多级腔室10、每一级所述腔室10对应连接一存储箱20；过滤器30，所述过滤器30的一端设置通过管道40与当前级腔室101对应的存储箱20连接，所述过滤器30的另一端通过第二管道50与下一级腔室102连接；其中，至少在管道40或所述第二管道50上设置有阀门开关60。具体的，图1所示出的是阀门开关60设置在管道40上的示例图。当当前级别腔室101对应的过滤器30被薄膜碎屑阻塞后，通过阀门开关60关闭当前级别腔室101对应的存储箱20与过滤器30之间的液体流通。选择剥离液，提升工作效率，降低成本。扬州江化微的蚀刻液剥离液销售价格

添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂；s3：将步骤s1的剥离液废液与添加剂混合，重新制备剥离液新液，制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻胶剥离液为纯有机溶剂体系，废液可通过蒸馏回收80-95％有效物，得出纯化液体，而在上述制备方式中，纯化液体所含的组分与添加剂所含的组分之间是具有相重复的，可以认为，添加剂是根据已知的剥离液新液的组分进行配制的，添加剂可以是对纯化液体与剥离液新液之间的组分的差别而进行的添加、补充，使得纯化液体和添加剂混合后，能够具有与剥离液新液相同的组分。那么，可以知道，在预先知道剥离液新液的组分的基础上，可以通过预先配制含有剥离液新液中的某些组分的添加剂，然后在制备回收的剥离液废液得出纯化液体时，可以将添加剂加入纯化液体中，再进行质量分数的调节。纯化液体是将剥离液废液进行加压、蒸馏，去除剥离液废液中的非剥离液新液的组分的物质，然后得出的纯化液体，纯化液体中所含的组分物质，都是剥离液新液所含有的组分物质。进一步技术方案中，所述的步骤1中得出的纯化液体中含有的酰胺化合物的质量分为：45％-60％；含有的醇醚化合物的质量分为：35％-50％。合肥剥离液厂家现货剥离液分为溶剂型和水系两种类别；

本申请涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种剥离液机台及其工作方法。背景技术：剥离(lift-off)工艺通常用于薄膜晶体管(thinfilmtransistor)制程中的光罩缩减，lift-off先形成光阻并图案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同时，沉积在光阻上的膜层也被剥离，从而完成膜层的图形化，通过该制程可以实现两次光刻合并为一次以达到光罩缩减的目的。现有技术中，由于光阻上沉积了薄膜(该薄膜材料可以为金属，ito(氧化铟锡)等用于制备tft的膜层)，在剥离光阻的同时薄膜碎屑被带入剥离液(stripper)中，大量的薄膜碎屑将会导致剥离液机台中的过滤器(filter)堵塞，从而导致机台无法使用，并且需要停止所有剥离液机台的工作，待将filter清理后再次启动，降低了生产效率。技术实现要素：本申请实施例提供一种剥离液机台及其工作方法，可以提高生产效率。本申请实施例提供一种剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在所述管道或所述第二管道上设置有阀门开关。在一些实施例中。

在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的剥离液机台的种结构示意图。图2为本申请实施例提供的剥离液机台的第二种结构示意图。图3为本申请实施例提供的剥离液机台的第三种结构示意图。图4为本申请实施例提供的剥离液机台的第四种结构示意图。图5为本申请实施例提供的剥离液机台的工作方法的流程示意图。具体实施方式目前剥离液机台在工作时，如果过滤剥离光阻时产生的薄膜碎屑的过滤器被阻塞，则需要剥离液机台内的所有工作单元，待被阻塞的过滤器被清理后，才能重新进行剥离制程，使得机台需频繁停线以更换过滤器，极大的降低了生产效率。请参阅图1，图1为本申请实施例提供的过滤液机台100的种结构示意图。本申请实施例提供一种剥离液机台100，包括：依次顺序排列的多级腔室10、每一级所述腔室10对应连接一存储箱20；过滤器30，所述过滤器30的一端设置通过管道40与当前级腔室101对应的存储箱20连接，所述过滤器30的另一端通过第二管道50与下一级腔室102连接；其中，至少在管道40或所述第二管道50上设置有阀门开关60。剥离液可以实现光刻胶的剥离；

本申请涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种剥离液机台及其工作方法。背景技术：剥离(lift-off)工艺通常用于薄膜晶体管(thinfilmtransistor)制程中的光罩缩减，lift-off先形成光阻并图案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同时，沉积在光阻上的膜层也被剥离，从而完成膜层的图形化，通过该制程可以实现两次光刻合并为一次以达到光罩缩减的目的。现有技术中，由于光阻上沉积了薄膜(该薄膜材料可以为金属，ito(氧化铟锡)等用于制备tft的膜层)，在剥离光阻的同时薄膜碎屑被带入剥离液(stripper)中，大量的薄膜碎屑将会导致剥离液机台中的过滤器(filter)堵塞，从而导致机台无法使用，并且需要停止所有剥离液机台的工作，待将filter清理后再次启动，降低了生产效率。技术实现要素：本申请实施例提供一种剥离液机台及其工作方法，可以提高生产效率。本申请实施例提供一种剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过***管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在所述***管道或所述第二管道上设置有阀门开关。在一些实施例中。好的剥离液的标准是什么。滁州剥离液费用是多少

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当前级别腔室101对应的过滤器30被薄膜碎屑阻塞后，通过阀门开关60关闭当前级别腔室101对应的存储箱20与过滤器30之间的液体流通，从而可以在阀门开关60关闭后取下被阻塞的过滤器30进行清理并不会导致之后的下一级腔室102的剥离进程无法继续。其中，腔室10用于按照处于剥离制程的玻璃基板的传送方向逐级向玻璃基板分别提供剥离液；与多个腔室10分别对应连接的多个存储箱20，各级腔室10分别通过管道与相应的存储箱20连接，存储箱20用于收集和存储来自当前级腔室101的经历剥离制程的剥离液；过滤器30用于过滤来自当前级腔室101的存储箱20的剥离液，并且过滤器30还可以通过管道与下一级腔室102连接，从而过滤器30可以将过滤后的剥离液输送给下一级腔室102。各腔室10设计为适合进行剥离制程，用于向制程中的玻璃基板供给剥离液，具体结构可参考现有设计在此不再赘述。各级腔室10分别于相应的存储箱20通过管道连接，腔室10中经历剥离制程后的剥离液可以经管道输送至存储箱20中，由存储箱20来收集和存储。各级腔室10的存储箱20分别与相应的过滤器30通过管道连接，经存储箱20处理后的剥离液再经相应的过滤器30过滤后才经管道输送至下一级腔室102。扬州江化微的蚀刻液剥离液销售价格