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    所述组合物包含540重量％的甲基四氢呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氢呋喃是2-甲基四氢呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不论R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。共沸或共沸型的组合物是特别有利的。当R为甲基时，该共沸或共沸型的组合物包含515重量％的甲基四氢呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。包含8重量％的甲基四氢呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸组合物在大气压下具有°C的沸点。当R为乙基时，该共沸或共沸型的组合物包含1040重量％的甲基四氢呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。包含％的甲基四氢呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸组合物在大气压()下具有°C的沸点。共沸组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸点的恒定沸点(即，在沸腾或蒸发期间没有分馏的倾向)。因此，在蒸发期间形成的蒸气的组成与初始的液体组合物相同或者几乎相同。共沸型组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有基本上恒定的沸点，也就是说，共沸型组合物起到单一化合物的作用。BOE蚀刻液，有效控制，呈现好的蚀刻效果。

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