在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此指示的压力低于真空室中的实际压力。冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与重型气体(如氩)一起抽空时尤为明显。这可导致不一致和不准确的读数。当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样,读数可以干燥扰或不一致。必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的污染。强磁场和电场会影响真空计的性能。尤其对于电离真空计而言。为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行烘烤。必须遵守技术要求中规定的蕞大烘烤温度和条件。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声,需要针对性的采取措施。绍兴无损氦质谱检漏仪售后服务
氦检仪的工作原理:氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分,分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性,氦气的压缩比很小,可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离,氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极,产生一个正比于离子数量的电流信号,该信号经过放大和处理即为泄漏率。嘉兴进口氦质谱检漏仪定制氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。
氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理,用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所,特别是仪器的电源插座,应符合要求,要有良好的地线,左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪,以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔,可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。
氦质谱检漏仪的的故障和处理:1、内部的泄漏,当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。2、本底信号不稳定,1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,氦质谱检漏仪应有可靠的接地。氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法)。
氦检仪在无源器件中的检漏应用:无源器件检漏原因:光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位,定量漏点,替代传统泡沫检漏和压差检漏,目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法:由于无源器件体积小,且无法抽真空或直接充入氦气,我们采用“背压法”检漏,具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐,压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件,使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐,测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪,开始检漏。在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的;江苏进口氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪的主要根据被检漏设备的允许漏率为依据。绍兴无损氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。绍兴无损氦质谱检漏仪售后服务