氦检仪应用于调节阀气路管道检漏:调节阀又名控制阀,在现代化工厂的自动控制中,调节阀起着十分重要的作用,如果调节阀有漏,将会严重影响设备运行,进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏,阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气,如在被检测处如阀杆等,用氦检仪正压法检测,正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式,可根据客户不同需求,选择不同的检漏方法。氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。嘉兴客制化氦质谱检漏仪多少钱一台
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。宁波分体式氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些?氦检仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第1,氦检仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四,氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六,氦检仪的性能不稳定。第七,氦气纯度不稳定或存在误差。第八,之后也就是检漏操作人员的因素,包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高,用得普遍的氦检仪器。
氦检仪灵敏度降低应该如何维护?当发现氦检仪的灵敏度降低,而氦检仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下:先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,这里不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油和无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意,分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热,否则可能导致磁铁退磁,使氦检仪的灵敏度降低。如果操作正确,经过清洗维护后的氦检仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
氦质谱检漏仪操作注意事项:1、产品放入加压罐中加压时,不能直接拆除加压罐。必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。以防气体冲击带来伤害。3、产品半检漏时,按压住的组件不能挪动或者强行扳开。以防气体冲击带来伤害。4、在进行重氟油检漏时,产品不能直接放进油箱中,而应把油箱中的托盘拿出,把产品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飞溅烫伤。氦检仪不只灵敏度高,而且操作方便;合肥氦质谱检漏仪
掌握和了解氦检仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。嘉兴客制化氦质谱检漏仪多少钱一台
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。嘉兴客制化氦质谱检漏仪多少钱一台