西藏SF6QCL激光器公司

    可调谐半导体激光吸收光谱（TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy）技术主要是利用可调谐半导体激光器的窄线宽和波长随注入电流改变的特性实现对分子的单个或几个距离很近很难分辨的吸收线进行测量。TDLAS通常是用单一窄带的激光频率扫描一条**的气体吸收线。为了实现比较高的选择性，分析一般在低压下进行，这时吸收线不会因为压力而加宽。这种测量方法是Hinkley和Reid提出的，现在已经发展成为了非常灵敏和常用的大气中痕量气体的监测技术。具有高灵敏度、实时、动态、多组分同时测量的优点。由于半导体激光器的高单色性，可以利用待测气体分子的一条孤立的吸收谱线进行测量，避免了不同分子光谱的交叉干扰，从而准确的鉴别出待测气体。可调谐红外激光光谱技术独特的优势以及在许多领域有着潜在的重要应用价值，是近年来非常热门的研究领域之一。可调谐半导体激光器，目前常用于TDLAS技术的可调谐半导体激光器包括：法珀（Fabry-Perot）激光器、分布反馈式(DistributedFeedback)半导体激光器、分布布喇格反射（DistributedBraggreflector）激光器、垂直腔表面发射（Vertical-cavitysurface-emitting）激光器和外腔调谐半导体激光器。 可调谐半导体激光吸收光谱（ＴＤＬＡＳ）是一种 具有高分辨率、高灵敏度、快速检测特点的气体检测 技术。西藏SF6QCL激光器公司

    阈值电流密度较低带间跃迁和子带间跃迁示意图常规半导体激光器是双极性器件，导带中的电子与价带中的空穴复合生成光子，而量子级联激光器是单极性器件，只靠导带中子带间电子的跃迁产生光子，如图4所示，电子跃迁的始态与终态的曲线的曲率相同，这样形成的增益谱很窄而且对称，是量子级联激光器能够低阈值工作的一个原因。当然，QCL的阈值电流密度也与有源区设计，材料生长以及器件结构有关。尺寸较小图5量子级联激光器实物图量子级联激光器的尺寸较小，如图5所示，量子级联激光器管芯的长度一般为3mm，随着激光器性能提高，可以将其封装在方盒内，从而方便地移动和操作。量子级联激光器的工作温度、输出性能和波长覆盖范围在过去的20年取得了迅猛发展。其中，有两个里程碑，一个是1997年室温工作的分布反馈量子级联激光器（DFB-QCL）的研制成功，实现了波长为μm和8μm的DFB-QCL的室温工作，其中μm的激光器300K时峰值功率为60mW；另一个是2002年实现了波长为μm量子级联激光器的室温连续工作，器件在292K时输出功率为17mW，比较高连续工作温度为321K。 辽宁H2OQCL激光器定制QCL则将范围拓展到了中远红外波段，使其在气体检测、空间通讯等方面得到了越来越多的应用。

    TDLAS能实现"原位、连续、实时测量"，环境适应力强，易于设备的小型化。因此可以挣脱实验室的束缚，在产业应用中大展拳脚。比如大气环境在线监测、发动机效率检测、汽车尾气测量、工业过程气体实时监测等等。TDLAS利用半导体激光器的波长调谐特性，可获得被选定的待测气体特征吸收峰的吸收光谱，从而对气体定性或者定量的分析。每种气体分子的吸收峰受其他气体吸收干扰很小，所以也称之为"分子的指纹峰"TDLAS技术简单来说就是这些气体"分子指纹"的识别系统，具有很强的选择性。此外，TDLAS的检测灵敏度也是较高的，不过检出限能达到怎样的量级，就和所用光源有着很大的关系。常见的污染气体的"指纹峰"主要集中在4μm-10μm，基本是中红外的天下，所以，作为中红外激光光源的QCL，则可展现性能优势。再加之高输出功率，检出限可达到ppb，甚至ppt级别。这比传统的近红外光源所能达到的水平，整整高出了3~6个量级。

    波长覆盖范围宽量子级联激光器从波长设计原理上与常规半导体激光器不同，常规半导体激光器的激射波长受限于材料自身的禁带宽度，而QCL的激射波长是由导带中子带间的能级间距决定的，可以通过调节量子阱/垒层的厚度改变子带间的能级间距，从而改变QCL的激射波长。从理论上讲，QCL可以覆盖中远红外到THz波段。[2]单个激光器激射波长连续可调谐对于各种气体的检测，需要激光器的波长精确平滑地从一个波长调谐到另一个波长。对于特定气体的检测，波长更需要精确的调节以匹配其吸收线，也称为分子“指纹”。另外，通过波长调节以匹配气体的第二条吸收线，可以用来作为条吸收线是否正确的判断标准。单个激光器的激射波长可以通过改变温度和工作电流进行调谐，已有技术通过改变激光器的工作温度，得到波长9μm激光器中心频率，约为10cm-1。而使用外置光栅，可以得到更宽的波长调谐范围。 光谱技术在气体检测领域有着广泛的应用，其中OF-CEAS、CRDS和TDLAS是三种主要技术。

    量子级联激光器是基于多个量子阱异质结中掩埋次能级跃迁的单极半导体注入激光器，它们是通过能带工程并通过分子束外延生长方法得到的。QCL激光器的输出波长依赖于量子阱和作用区掩埋层的厚度而不是激光材料的能级。由于QCL输出波长不受带隙宽度的限制，因而能够被制成在中红外波长区较宽范围里输出。QCL的输出波长区可以从µm到60µm，激光输出功率可以达到几个mW。QCL在脉冲工作方式下可以工作在室温下，并且已经被用于痕量气体的光谱检测，但由于脉冲激光固有特点使其线宽相对较宽。虽然单模连续输出DFB－QCL已早有报道，但到目前为止，还没有痕量气体检测的报道。鉴于目前中红外光谱区传统激光技术存在的需要低温制冷等限制，利用技术成熟的近红外激光光源的参量频率转换实现室温下连续波中红外相干光源输出是一个有效的补充。在中红外光谱相干光输出的参量过程主要有光参量振荡（OPO）和差频变换（DFG）。 红外气体传感器是通过测量被测气体在特定的红外波段吸收了多少光的能量来计算浓度的。辽宁NOQCL激光器加工

量子级联激光器是一种新型半导体激光器，体积小、寿命长等特点，其工作原理却和传统半导体激光器截然不同。西藏SF6QCL激光器公司

    量子级联激光器输出功率较高图3量子级联激光器有源区工作示意图（两个周期）比起中红外波段其它光源，QCL的输出功率较高。不同的激光气体检测应用中会需要不同的功率，故激光器的高功率工作是非常必要的。改变工作电流就可以改变激光器的输出功率，高功率的激光器能够提供的功率范围大，可以满足更多的应用场景。QCL输出功率较高的原因可以归结于其本身的有源区结构设计，其电子利用效率较高。内量子效率是指每秒注入有源区的电子-空穴对数能够产生的光子数多少。图3给出典型的QCL有源区工作示意图，电子流通过一系列的子带和微带，实现子带中的上能级电子的集聚，之后迅速跃迁到下能级并产生光子，之后注入区再重复利用电子流，使之进入下一个循环。理论上一个电子可以产生与有源区级数相同的光子数，从而内量子效率较高，输出的功率也就越大。而常规的半导体激光器中，一个电子在与空穴相遇后辐射出一个光子。可室温工作许多应用中需要激光器能室温工作（室温脉冲或室温连续工作）。器件低温工作时需将激光器放置在液氮制冷的杜瓦中，将增大系统体积，而且不利于激光器的光束整形。而常规半导体激光器中电子和空穴的分布对温度十分敏感，在长波长区域。 西藏SF6QCL激光器公司