北京洁净室检测规范性强

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。北京洁净室检测规范性强

4.1.1洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时，应位于比较大频率风向上风侧，或全年极小频率风向下风侧。3应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的极近距离宜大于50m。4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。4.1、5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。福建电子厂房环境检测规范性强洁净室的气流组织模式直接影响其洁净效果，需通过模拟测试验证。

3.压差检测：洁净室与外界环境的压差是保持洁净室内洁净度的重要因素。压差检测通过对洁净室各区域的压差进行测量，确保洁净室内部与外部环境的压差符合规定要求，从而防止外部污染物进入洁净室。4.气流速度检测：洁净室内的气流速度对于维持洁净度至关重要。气流速度过快可能导致尘埃粒子飞扬，而气流速度过慢则可能导致尘埃粒子沉积。因此，气流速度检测是评估洁净室气流组织情况的重要手段。5.表面洁净度检测：洁净室内的各种表面，如墙壁、地面、设备外壳等，也是尘埃粒子容易沉积的地方。表面洁净度检测通过对这些表面的尘埃粒子数量进行检测，评估洁净室内部表面的洁净情况。

（三）空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有具体的洁净相关检测。

(1)净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用净化；或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间，这样做虽然有利于控制污染，但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便，以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性，洁净室的微粒实际上是不均匀分布的，较为典型的三区不均匀分布模型，即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下)，测点l~6由上风段依次向下，可以看出，各点尘粒数有较大区别当然，其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因，但这种较大区别的可能还是不可忽视。技术实力：全国多家自建实验室分支，检测更便捷。电子厂房环境检测值得推荐

检测结果异常时，应组织团队进行复检和原因分析。北京洁净室检测规范性强

单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流，所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此，层流洁净室一词是不恰当的，国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如，英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词，并在注释中指出层流的概念只是为了区分比层流更早出现的湍流(turbulent)流洁净室整理房间。在当时使用的成语中，“层流系统”的确切含义不是分层流，而是湍流的置换流。本章提到的概念是湍流的渐进流。在流体力学中，这种流动状态也可以称为平行流动或单向流动。1977年，我国在《清洁空气技术措施》中选择了“平行流”一词，并指出习惯上在该词后称其为“层流”。北京洁净室检测规范性强