氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。分体式氦质谱检漏仪氦检模块
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。金华真空氦质谱检漏仪售后服务氦检仪自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。
氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下：(1)对人体和自然环境没有毒害；(2)不能燃烧，作业安全；(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；(7)氦气在空气中的存在量只为5ppm，容易定点查清漏气位置。由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求：1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；2、反应时间短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。无锡无损氦质谱检漏仪品牌推荐
氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修？分体式氦质谱检漏仪氦检模块
氦检仪开机如何操作？1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。分体式氦质谱检漏仪氦检模块
