氦检仪的组成部分有哪些？真空系统：冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离，冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔，用它来校准仪器的较小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。常州模块式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪调氦峰步骤：1、调氦峰方法：开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰；如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好：①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小：①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。常州模块式氦质谱检漏仪特点氦检仪检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
氦检仪的工作原理：氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。
随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下：(1)对人体和自然环境没有毒害；(2)不能燃烧，作业安全；(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；(7)氦气在空气中的存在量只为5ppm，容易定点查清漏气位置。由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。便携式氦质谱检漏仪使用方法
高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个是本底噪声。常州模块式氦质谱检漏仪特点
选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则：1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔，所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。2、根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。为保证测试漏率真实有效：（1）标准漏孔每年送有专业资质计量单位计量；（2）使用两年以上建议更换标准漏孔。常州模块式氦质谱检漏仪特点
