D.3.5气流流型的检测,应符合下列规定:1气流流型的检测,宜采用气流目测法。2气流目测法有示踪线法、示踪剂注人法,并应用图像处理技术记录和处理。示踪线法所用纤维或示踪剂的微粒都不应成为洁净室(区)的一种污染源。3示踪线法应为通过观察放置在测试杆末端或气流中细钢丝格栅上的丝线或单根尼龙纤维等,直接目测得到气流方向或因干扰引起的波动。4示踪剂注入法,可采用纯水喷雾或化学法生成的乙醇/正二醇等示踪剂粒子的特性,在**度光源下进行观察或做成图像。5应采用图像处理技术进***流目测,本法一般是与示踪法结合,将在摄像机或膜上的粒子图像等经技术处理得到气流特性。6气流目测的测点位置、仪器等,应根据洁净室(区)的具体条件洽商确定。单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。安徽过滤器洁净室检测哪家好

C.1.1检测目的检测的目的是确认过滤系统安装正确,使用过程中无渗漏发生,不要将已装过滤器系统的检漏与过滤器出厂时的效率检测混为一谈,过滤器出厂前应经过检漏雨测试。此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏;确认过滤系统下风向空气中悬浮粒子的浓度足够满足洁净室设计洁净度。C.1.2检测过程检测中,在过滤器的上风向注入气溶胶,在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描,或在风管中的过滤器下风向采样。检漏包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏只在“空态”或“静态”下进行,且该项检测是在新建洁净室调试时,或现有设施需要再检测时,或更换了末端过滤器之后进行。北京半导体净化车间洁净室检测服务至上洁净室的发展与现代工业、高新技术密切联系在一起。

15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行,应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。15.1.2设计有微振控制要求的洁净厂房时,应符合下列规定:1总平面布置时,应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响;2设有精密设备、仪器的洁净厂房,其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计;3对设有精密设备、仪器的洁净室(区)有振动影响的动力设备及其管道,应采取主动隔振措施;4洁净室(区)内精密设备、仪器,经测试确认受到周围振动影响时,应采取被动隔振措施。
1管道连接应采用焊接,热镀锌钢管应采用螺纹连接。2不锈钢管应采用氩弧焊,以对接焊或承接焊连接;高纯气体管道宜采用内壁***痕的对接焊。8.3.2管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。8.3.3管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定:1螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择,宜采用聚四氟乙烯等。2高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定,宜采用金属垫或双卡套。8.3.4洁净室(区)内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的**温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料,并应平整、光洁,宜采用金属外壳保护。洁净室等级划分世界各国均有自定规格。

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁,并应减少凹凸面,2当采用踢脚时,踢脚不宜突出墙面。定期检测洁净度,确保空气质量的稳定。北京静电洁净室检测分析
工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。安徽过滤器洁净室检测哪家好
1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。安徽过滤器洁净室检测哪家好
浮游菌检测:浮游菌检测对于医药、食品等行业的无尘室至关重要。采用空气采样器进行检测,其原理是通过抽取一定体积的空气,使空气中的微生物粒子吸附在含有培养基的培养皿上。检测前,需对采样器进行严格的消毒灭菌处理。在无尘室正常运行状态下,在不同区域均匀布置采样点,每个采样点抽取空气量一般为100L。采样结束后,将培养皿置于恒温培养箱中,在适宜的温度和湿度条件下培养一定时间(通常为48-72小时),观察菌落生长情况,依据相关标准判定无尘室浮游菌数量是否合格,确保生产环境符合卫生要求。先进的激光尘埃粒子计数器、浮游菌采样器等专业检测设备,是获取洁净室准确数据的必要工具。江苏微生物洁净室检测标准对于新建的无...