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5.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小、污染物浓度符合现行国家有关标准规定限值的材料。洁净室装饰材料及密封材料不得采用释放对室内各种产品品质有影响物质的材料。5.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列规定:1洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光,便于除尘,并应减少凹凸面。2踢脚不应突出墙面。3洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面,当必须采用时宜采用干燥作业,抹灰应采用符合现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB50210中高级抹灰的要求。墙面抹灰后应刷涂料面层,并应选用难燃、不开裂、耐腐蚀、耐清洗,表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。浙江国内检测规范性强

对单向流如5级净化房间内及层流工作台测试应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始；对非单向流如7级、8级以上的净化房间测试应在净化空调系统正常运行不少于30分钟开始。a.采样方法：将已制备好的培养皿放置在预先确定的取样点，打开培养皿盖使培养基表面暴露0.5小时再将培养皿盖上盖后倒置。b.培养全部采样结束，将培养皿倒置于恒温培养箱中培养。在30-35℃培养时间不少于48小时。每批培养基应有对照试验检查培养基本身是否污染可每批选定3只培养皿作对照培养。c.菌落计数用肉眼直接计数然后用5-10倍放大镜检查有否遗漏。若培养皿上有2个或2个以上菌落重叠可分辨时仍以2个或2个以上的菌落计数。河北排风柜检测技术好洁净室地面、墙面及天花板的清洁度也是检测内容之一。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定：1在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处，应按微振控制要求设计。2洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。3应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。4.5.2精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可按现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定执行。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。

B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区，其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%，粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%，见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定，是基于对扩散元件透过率的计算，该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%，对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器（DPC）或凝聚核计数器（CNC）的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧，则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧，则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低计数效率。此时，经改进的离散粒子计数器或凝聚核计数器的计数效率就成为原计数器的计数效率与粒径限制器透过率的乘积。定期对洁净室管理人员进行培训和考核，提升其专业素养。辽宁实验室环境检测技术好

洁净室检测中，需特别关注空气交换率和自净时间。浙江国内检测规范性强

4、悬浮粒子-微粒计数农度A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。浙江国内检测规范性强