TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点:・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)-加速度信号可以从外部输出。(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。被动隔振台大型半导体设备防震台应用

水平X轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。水平Y轴方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。被动隔振台大型半导体设备防震台应用从低频率起提高一个隔振环境。

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果蕞好,但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置,将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与弟一个装置平行放置,但这并非决对必要。但是,必须特别注意桌面的正确连接,如下所述。注意,也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下,刚性安装是决对必要的。我们很乐意为您提供蕞佳安装方法的建议。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。
传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意,如果未启用LFS,则它将无效。敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振从0.7Hz到100Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体带表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产),振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。装载设备:扫描电子显微镜,如AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,医疗检测设备等。简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。AVI-200SLP隔振台大型半导体设备防震台应用
LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。被动隔振台大型半导体设备防震台应用
将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂时不再隔离,直到过载消除(待机模式)。消除过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后,系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离,但通常只需要几秒钟。注意:在正常使用中,隔离开关可能会保持在ON位置(黑色旋钮在里面)。上接通电源后,黄色指示灯将首先闪烁,表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后,指示灯停止闪烁并保持点亮状态,表明系统处于隔离。被动隔振台大型半导体设备防震台应用