13.2.5洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。13.2.6洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。13.2.7洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台。13.2.5洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。13.2.6洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。13.2.7洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台。利用高速洁净气流吹落进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。上海洁净工作台无尘室检测流程
16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定:在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时,除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外,还应在系统和该装置正常运转条件下,检测室内臭氧浓度。应按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定:当对新风效果作细致确认时,可在风系统正常运行、室内处于动态条件下,于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度,按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10%的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时,可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测,结果应符合设计要求或双方商定的标准。洁净工作台无尘室检测范围物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
应检查产品合格证、出厂检验报告,其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据,不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查,内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠,转动是否正常;带装饰网或阻漏层的,装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。应检查产品合格证、出厂检验报告,其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据,不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查,内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠,转动是否正常;带装饰网或阻漏层的,装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。
6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局,应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快,并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调,并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。无尘室极主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度。
11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封,并应装饰处理。空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。北京排风柜无尘室检测频率
无尘室在各个行业中都有应用,尤其是需要对空气粒子进行控制的环境和行业。上海洁净工作台无尘室检测流程
12.3.1防火卷帘安装应符合下列规定:1防火卷帘洞口上端至顶棚之间应采用防火墙、不燃或难燃材料封堵。当采用不燃或难燃材料封堵时,其耐火极限应不低于防火卷帘的耐火极限。如防火卷帘采用水幕保护,其封堵材料亦应采用水幕保护。2钢质卷帘的帘板应平直,装配成卷帘后,不应存在孔洞或缝隙。3防火防烟卷帘的导轨内设置的防烟装置的材料应为不燃或难燃材料。防烟装置与帘面应均匀紧密贴合,其贴合面长度不应小于导轨长度的80%。4用于疏散通道上的防火卷帘,其两侧应安装由感烟、感温火灾探测器组成的火灾探测器组合。12.3.2防火门和防火窗的安装应符合下列规定:1安装在防火门和防火窗上的合页、插销等五金配件应是经相关检测机构检验合格的产品。2防火门的开启角度不应小于90°,并应具有在发生火灾时能迅速关闭的功能。上海洁净工作台无尘室检测流程
1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10↵~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第...