C.1.3已装过滤系统其过滤器检漏C.1.3.1**的检测项目,对安装的过滤器进行检漏。C.1.3.2调试过程中承建商的检测已获得业主认可,在紧接着的洁净度项目检测过程中,可进行抽检或免检。C.1.3.3有条件时,宜将过滤系统安装调试过程的检漏与检测项目中**的过滤系统检漏合并;过滤系统检漏费时、费人力,整个洁净室建造过程中只给出一定的作业时间周期。C.1.4检漏方法检漏方法通常有“气溶胶光度计法”和“离散粒子计数器(DPC)法”。气溶胶光度计是测量空气中悬浮粒子的质量浓度,而离散粒子计数器是测量空气中悬浮粒子的数量和粒径,2种方法获得的结果不能进行直接比较。洁净室等级划分世界各国均有自定规格。安徽风速洁净室检测目的
15.3.2有微振动控制要求的洁净室(区),其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定:1建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度;2应设置**的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔;3主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。15.3.3有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求.1宜采用隔振台(座);2应选用刚度适当的隔振器,3通往洁净室(区)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。江苏无尘室3Q验证洁净室检测洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施。
8.1.1洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。8.1.3工业管道设计应符合下列规定:1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。2在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。8.1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。8.1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或比较高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
5.5.2当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室(区)时,宜采取密封隔断措施。5.5.3洁净室(区)内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时,应采取隔声措施。5.5.4洁净室(区)应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。5.5.5洁净室(区)内,电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送,宜采用容器。用于存放和传送的**容器,应符合下列规定:1制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电,并在空气中不应被氧化;2应密封性能好;3当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气;4构造、外形应满足生产工艺要求,并应方便操作和运送。单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动。
C.1.1检测目的检测的目的是确认过滤系统安装正确,使用过程中无渗漏发生,不要将已装过滤器系统的检漏与过滤器出厂时的效率检测混为一谈,过滤器出厂前应经过检漏雨测试。此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏;确认过滤系统下风向空气中悬浮粒子的浓度足够满足洁净室设计洁净度。C.1.2检测过程检测中,在过滤器的上风向注入气溶胶,在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描,或在风管中的过滤器下风向采样。检漏包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏只在“空态”或“静态”下进行,且该项检测是在新建洁净室调试时,或现有设施需要再检测时,或更换了末端过滤器之后进行。正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机。江苏生物安全柜洁净室检测周期
应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。安徽风速洁净室检测目的
8.2.1洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定,宜按生产、生活、消防分别设置的给水系统。8.2.2当设有危险化学品储存和分配室时,应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求,设置紧急淋浴器和洗眼器,其给水管道应环形敷设布置。8.2.3给水管道的管材及附件的选择,应符合下列要求:1给水系统的管材和附件的选用,应满足生产工艺和系统工作参数的要求;2埋地管道应耐腐蚀,并应具有承受相应地面荷载的能力;3生产设备循环冷却水给水和回水管道,应按生产工艺和水质要求,采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等,不宜采用焊接钢管;4阀门及附件应采用与管材相同的材质。安徽风速洁净室检测目的
4.1.2洁净厂房内当布置有精密设备和精密仪器仪表,若它们有防微振要求时,为解决防微振问题,在厂址选择或已建工厂内的洁净厂房场地选择过程中,需要对周围振源的振动影响作出评价,以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对精密设备、精密仪器仪表的振动影响,是若干单个振源振动的叠加结果。这种叠加,目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法。因此,应立足于实测。过去有的工厂,由于建厂前没有对周围各类振源的振动影响进行实测,建成后发现对精密设备、精密仪器仪表影响很大,有的甚至难以工作,给生产、试验带来很大困难,这说明实测振源振动影响是非常必要的。中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。安徽洁净传递...