芯片研发制造过程链条漫长,很多重要工艺环节需进行精密检测以确保良率,降低生产成本。提高制造控制工艺,并通过不断研发迭代和测试,才能制造性能更优异的芯片,走向市场并逐渐应用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小,在温度循环下的应力,传统测试方法难以获取;高精度三维显微应变测量技术的发展,打破了原先在微观尺寸测量领域的限制,特别是在半导体材料、芯片结构变化细微的测量条件下,三维应变测量技术分析尤为重要。 电阻应变测量(电测法)是实验应力分析中使用较广和适应性比较强的方法之一。山东VIC-3D数字图像相关应变与运动测量系统
应用领域光学非接触应变测量在材料科学、工程领域以及其他许多应用中具有广泛的应用前景。以下是一些主要的应用领域:材料性能测试:用于测试各种材料的力学性能,如拉伸、压缩、弯曲等过程中的应变变化。工程结构监测:在桥梁、建筑、飞机等工程结构的监测中,用于实时检测结构的应变状态,评估结构的安全性和稳定性。生物医学:在生物医学领域,用于测量生物组织的应变变化,如血管、心脏等的应变状态。高温环境测量:在高温环境下,传统的接触式应变测量方法往往无法满足需求,而光学非接触应变测量可以克服这一难题,实现高温环境下的应变测量。 重庆VIC-2D非接触测量系统三维应变测量技术是一种用于测量物体三维应变状态的重要工程测量方法。
在进行变形测量时,应满足以下基本要求:1.大型或重要工程建筑物、构筑物,在工程设计时,应对变形测量统筹安排。施工开始时,即应进行变形测量。2.变形测量点,宜分为基准点、工作基点和变形观测点。3.每次变形观测时,宜符合以下要求:采用相同的图形(观测路线)和观测方法,使用同一仪器和设备,固定的观测人员,在基本相同的环境和条件下工作。4.平面和高程监测网,应定期检测。建网初期,宜每半年检测一次;点位稳定后,检测周期可适当延长。当对变形成果发生怀疑时,应随时进行检核。
金属应变计是一种用于测量物体应变的装置,其实际应变计因子可以从传感器制造商或相关文档中获取,通常约为2。由于应变测量通常很小,只有几个毫应变(10⁻³),因此需要精确测量电阻的微小变化。例如,当测试样本的实际应变为500毫应变时,应变计因子为2的应变计可以检测到电阻变化为2(50010⁻⁶)=。对于120Ω的应变计,变化值只为Ω。为了测量如此小的电阻变化,应变计采用基于惠斯通电桥的配置概念。惠斯通电桥由四个相互连接的电阻臂和激励电压VEX组成。当应变计与被测物体一起安装在电桥的一个臂上时,应变计的电阻值会随着应变的变化而发生微小的变化。这个微小的变化会导致电桥的电压输出发生变化,从而可以通过测量输出电压的变化来计算应变的大小。除了传统的应变测量方法外,光学非接触应变测量技术也越来越受到关注。这种技术利用光学原理来测量材料的应变,具有非接触、高精度和高灵敏度等优点。它通常使用光纤光栅传感器或激光干涉仪等设备来测量材料表面的位移或形变,从而间接计算出应变的大小。这种新兴的测量技术为应变测量带来了新的可能性,并在许多领域中得到了普遍应用。 传统的测量方法受限于透明材料表面反射和透射影响,而光学非接触测量技术能有效解决问题,实现高精度测量。
光学非接触应变测量技术在结构健康监测中的应用研究一直备受关注。这项技术通过利用光学传感器对结构物表面进行测量,能够实时、准确地获取结构物的应变信息,从而实现对结构物健康状态进行监测和评估。光学非接触应变测量技术具有高精度和高灵敏度的特点。传统的应变测量方法往往需要接触式传感器,而光学非接触测量技术可以避免对结构物的破坏和干扰,提供更加准确和可靠的应变测量结果。同时,光学传感器的灵敏度高,可以检测到微小的应变变化,对结构物的微小损伤和变形进行监测。 数字图像相关法(DIC):通过捕捉物体表面的图像,并利用图像处理算法计算物体表面的位移和应变情况。重庆VIC-2D非接触测量系统
在汽车制造中,刚学非接触应变测量技术可用于检测轮胎、发动机、车身和底盘等关键部位的应变变化。山东VIC-3D数字图像相关应变与运动测量系统
光学测量领域中,光学应变测量和光学干涉测量是两种重要的技术手段。虽然它们都属于光学测量,但在测量原理和应用背景上存在明显差异。首先,让我们深入探讨光学应变测量的工作原理。这种测量技术的中心是通过捕捉物体表面的形变来推断其内部的应力分布状态。该过程主要依赖于光栅投影和图像处理技术。具体实施步骤包括将光栅投射到目标物体表面,随后使用高精度相机或其他光学传感器捕捉光栅形变图像。通过对这些图像进行一系列复杂而精密的处理和分析,我们能够得到物体表面的应变分布信息。与光学应变测量相比,光学干涉测量在方法上有着本质的不同。它是一种直接测量物体表面形变的技术,主要利用光的干涉现象来实现。在光学干涉测量中,一束光源被分为两束,分别沿不同路径传播,并在某一点重新汇合。当物体表面发生形变时,这两束光的相位关系会发生相应的变化。通过精确测量这种相位变化,我们可以获取物体表面的形变信息。总的来说,光学应变测量和光学干涉测量虽然都是光学测量的重要分支,但在工作原理和应用范围上具有明显的区别。光学应变测量通过间接方式推断物体内部的应力状态,而光学干涉测量则直接测量物体表面的形变。 山东VIC-3D数字图像相关应变与运动测量系统