B.1自净检测是测定洁净室设施***空气悬浮粒子的能力。洁净室污染洁净度的恢复性能是设施**重要的能力之一。自净检测*对非单向流系统重要并推荐采用,因为自净性能与受控区内循环空气比例(换气次数)、送风与出风的几何位置、热条件和空气分布特性因素相关,而单向流系统中,污染被受控气流置换,自净时间只受位置和距离的影响。自净检测应在设施处于空态或静态时进行。洁净度ISO8级和ISO9级的洁净室(区)不推荐自净检测。检测若使用人工气溶胶,应防止气溶胶对设施的残留污染。B.2自净性能的评估方法有100:1自净时间或洁净度恢复率。100:1自净时间的定义:粒子浓度降低到0.01倍初始浓度所需时间。100:1自净时间检测是优先方法。洁净恢复率的定义:粒子浓度随时间的变化速率。该方法可以使用粒子浓度衰减曲线进行描述(纵座标表示浓度,为对数刻度;横座标表示浓度,为线性刻度)。干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。江苏洁净传递窗洁净室检测流程
6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。6.1.6设有技术夹层、技术夹道的洁净厂房,技术夹层、技术夹道的建筑设计应满足各种风管和各种动力管线安装和维修的要求。穿越楼层的竖向管线需暗敷时,宜设置技术竖井。技术竖井的形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求。6.1.7对兼有一般生产区和洁净室(区)的综合性厂房,厂房的平面布局和构造处理,宜避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产环境带来不利影响。上海尘埃粒子洁净室检测周期洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。
6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁,并应减少凹凸面,2当采用踢脚时,踢脚不宜突出墙面。
9.2.5洁净厂房的正常照明因电源故障而熄灭,不能进行必要的操作处置可能导致生产流程混乱,加工处理的贵重零部件损坏;或由于不能进行必要的操作处置而可能引起火灾、和中毒等事故,本条规定应设置备用照明,以防止上述事故和情况发生。备用照明应满足所需要的场所或部位进行各项活动和工作所需的最低照度值。一般场所备用照明的照度不应低于正常照明照度标准的1/10。消防控制室、应急发电机室、配电室及电话机房等房间的主要工作面上,备用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。为减少灯具重复设置,节省投资,并对提高洁净室的洁净度有利,备用照明宜作为正常照明的一部分。设置在同一洁净室内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近。
6.3.4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求,且表面应平整、光滑。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5当洁净厂房设置外窗时,应采用双层固定窗,并应有良好的气密性,同时应采取防结露措施。6.3.6洁净室(区)门窗、墙壁、顶棚、地面、楼面的设计应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,构造和施工缝隙应采取密闭措施;2顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道,3洁净室(区)不宜设窗台;4当地面采用活动地板时,活动地板材质和支撑方式应根据电子产品生产工艺要求选择。6.3.7用于电子产品生产的洁净室(区)的墙板和顶棚,宜采用轻质壁板构造。根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。浙江生物安全柜洁净室检测目的
洁净区与室外的压差不应小于10Pa。江苏洁净传递窗洁净室检测流程
洁净厂房中生产区、辅助区和各类生产设备的布置与洁净室(区)内的气流流型、空气洁净度等级的保持密切相关,所以本规范规定:在洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出人口和可能干扰气流的场所设置,并宜布置在上风侧;空气洁净度等级要求相同的工序或工作室相对集中布置等都是电子产品洁净室(区)内布置的基本要求。另外,由于电子产品更新换代快,电子工厂在实际生产中,在线维修及调试、边生产边增加设备扩大生产能力的情况很多,因此在做工艺布局时,应根据具体情况,考虑这些因素,留出相应的运作空间。为避免不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间的频繁联系发生交叉污染,应根据电子产品生产工艺要求合理选择相应技术措施,如人的联系应采用气闸室或空气吹淋室;大物件的运送也可以采用气闸室,一般物件的运送可采用传递窗;穿越隔墙的管线应采用可靠气密措施等。江苏洁净传递窗洁净室检测流程
空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量;3中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段;4高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端;5同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近;6同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近;7对化学污染物有控制要求的洁净室(区),在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置;8高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。7.4.2风机过滤器机组的设置应符合下列要求:1应根据空气洁净度等级...