多位闸阀TRANSFER VALVE

闸阀的优点（1）流体阻力小因为闸阀阀体内部介质通道是直通的，介质流经闸阀时不改变其流动方向，所以流体阻力小。（2）启闭力矩小，开闭较省力因为闸阀启闭时闸板运动方向与介质流动方向相垂直、与截止阀相比，闸阀的启闭较省力。（3）介质流动方向不受限制，不扰流、不降低压力介质可从闸阀两侧任意方向流过、均能达到使用的目的。更适用于介质的流动方向可能改变的管路中。（4）结构长度较短因为闸阀的闸板是垂直置于阀体内的，而截止阀阀瓣是水平置于阀体内的，因而结构长度比截止阀短。（5）密封性能好全开时密封面受冲蚀较小。（6）全开时，密封面受工作介质的冲蚀比截止阀小。（7）体形比较简单，铸造工艺性较好，适用范围广。微泰高压闸阀的特点是*陶瓷球机构产生的低颗粒*使用维修配件工具包易于维护*应用:隔离泵。多位闸阀TRANSFER VALVE

闸阀工作原理：闸阀是只能做全开或者全关的，不能作为调节流量的阀门使用。它的工作原理就是闸板随阀杆一起作上升和下降做直线运动，阀杆上有梯形螺纹，通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽，来实现阀杆的上下运动，阀杆带动闸板运动。闸板的运动方向与管道流体介质方向是垂直的。闸阀的开启：闸阀的完全开启的状态在运行时，是无法查看的，尤其是对于暗杆闸阀来说。明杆闸阀的开启状态可以观察外露出来的阀杆位置来判断，暗杆闸阀一般则以开不动为止作为完全开启的标志。但考虑到可能因为温度变化出现锁死，一般闸阀开到头，即开不动位置时，再回转大概1/2圈，作为闸阀全开的位置。闸阀的关闭：闸阀在关闭后，可以有自密封和强制密封两种形式，自密封就是说密封面可以只依靠介质压力来密封。但大部分闸阀的闸阀还是使用强制密封的，就是说闸阀的闸板关闭时，要依靠外力将闸板强行压向阀座，来保证密封面的密封性能。通常闸阀的密封性能是好于蝶阀的。金属闸阀法兰闸阀用真空闸阀时，应考虑与工艺气体的兼容性、工作压力范围、循环速度和维护要求等因素。

微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外，它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化，使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成，用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动，确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构，保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造，其特点是设计紧凑，易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动，确保完美的腔室压力维护。它的内部机构，包括一个LM导向系统和滞留弹簧和楔形营地结构，保证了高耐用性和长寿命，同时提供稳定和精确的运动。I型和L型转移阀在在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动，并且对温度变化非常稳定，确保了较长的使用寿命。此外，即使长时间使用栅极，它们产生的颗粒也很少，从而避免了晶圆缺陷或主器件的污染。微泰不断创新，在开发先进的压力控制和控制阀制造专业从事真空闸阀不懈努力。

微泰,传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。I型和L型转移阀是用于半导体PVD CVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它们的作用是将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽，并极大限度地减少由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化，以维持腔室内的真空压力。I型转移阀由铝或不锈钢制成，用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。其特点是叶片在垂直方向上快速移动，以确保完美的腔室压力维持。而L型转移阀也由铝或不锈钢制造，其特点是设计紧凑，易于维护。L型转移阀的闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动，以确保完美的腔室压力维护。这两种类型的转移阀都具有高耐用性和长寿命的优点，并且在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动，对温度变化也非常稳定，以确保较长的使用寿命。如果您需要了解更多关于微泰传输阀、转换阀、输送阀、转移阀的信息，请联系上海安宇泰环保科技有限公司。闸阀高度大，启闭时间长。闸板的启闭行程较大，升降是通过螺杆进行的。

闸阀闸阀的工作原理是通过升降闸板（阀瓣）来控制流体流动。闸板通常位于阀门的底部，当闸板提升时，流体通道打开，阀门开启；当闸板下降并密封在阀座上时，流体通道关闭，阀门关闭。闸阀的这种结构使其在关闭状态下具有良好的密封性能。蝶阀蝶阀的工作原理是通过旋转蝶板（阀瓣）来控制流体的流动。蝶板位于阀门的中心，与管道轴线成一定角度。当蝶板旋转至与流体流动方向平行时，阀门开启；旋转至垂直于流体流动方向时，阀门关闭。蝶阀的这种结构使其在全开和全关状态下具有较小的流体阻力。闸阀的结构比较简单，一般由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈几部分组成。加热闸阀闸板阀

在机组的给水、主汽、凝结水、抽汽、空气、循环冷却水、轴冷水等系统中，均安装有许多闸阀。多位闸阀TRANSFER VALVE

微泰，专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion（扩散）•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀（2Port+N2Port）用不锈钢管连接（φ6）*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下：驱动方式：气动、法兰尺寸：4英寸~ 8英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作压力范围：1.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 12˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：4˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 14˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体业绩。

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