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闸阀（gate valve）是一个启闭件闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关，不能作调节和节流。闸阀通过阀座和闸板接触进行密封，通常密封面会堆焊金属材料以增加耐磨性，如堆焊1Cr13、STL6、不锈钢等。闸板有刚性闸板和弹性闸板，根据闸板的不同，闸阀分为刚性闸阀和弹性闸阀。闸阀关闭时，密封面可以只依靠介质压力来密封，即只依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封，这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的，即阀门关闭时，要依靠外力强行将闸板压向阀座， 以保证密封面的密封性。真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。Etch闸阀AKT

插板阀保养方法：1.检查插板阀外观，确保无损坏、锈蚀或泄漏。2.检查阀体与管道连接是否牢固。3.检查阀板运动是否顺畅，无卡涩现象。4.检查密封件是否完好，如有损坏应及时更换。5.定期对阀体进行清洁，去除污垢和杂质。6.检查并润滑阀杆和轴承部分。7.检查电动执行器（如有）是否正常工作，接线无松动。8.检查阀门开启和关闭指示是否准确。9.按照制造商的推荐周期进行有效的维护保养。定期进行有效保养能保证插板阀的正常工作，延长使用寿命。HV闸阀三星半导体高压闸阀，属于强制密封式阀门，所以在阀门关闭时，必须向闸板施加压力，以强制密封面不泄漏。

闸阀是使用很广的一种阀门，一般口径DN≥50mm的切断装置都选用它，有时口径很小的切断装置也选用闸阀，闸阀有以下优点：①流体阻力小。②开闭所需外力较小。③介质的流向不受限制。④全开时，密封面受工作介质的冲蚀比截止阀小。⑤体形比较简单，铸造工艺性较好。闸阀也有不足之处：①外形尺寸和开启高度都较大。安装所需空间较大。②开闭过程中，密封面间有相对摩擦，容易引起擦伤现象。③闸阀一般都有两个密封面，给加工、研磨和维修增加一些困难。

微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外，它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化，使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成，用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动，确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构，保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造，其特点是设计紧凑，易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动，确保完美的腔室压力维护。它的内部机构，包括一个LM导向系统和滞留弹簧和楔形营地结构，保证了高耐用性和长寿命，同时提供稳定和精确的运动。I型和L型转移阀在在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动，并且对温度变化非常稳定，确保了较长的使用寿命。此外，即使长时间使用栅极，它们产生的颗粒也很少，从而避免了晶圆缺陷或主器件的污染。微泰不断创新，在开发先进的压力控制和控制阀制造专业从事真空闸阀不懈努力。真空闸阀的密封装置确保关闭时的高真空完整性，防止泄漏并维持腔室内的真空压力。

闸阀在过水的管路中使用非常广，主要做截断流量使用。像蝶阀一样，闸阀也有这不同的分类方法。按照结构形式可以分为明杆闸阀和暗杆闸阀；按照密封面可以分为硬密封闸阀和弹性座软密封闸阀；按照链接形式又有法兰闸阀、焊接闸阀等等。具体选择哪一种阀门，用户可以根据自己的工况条件来选择。闸阀的分类虽多，但他们的工作原理都是相通的，包括闸阀的结构图也都相差无几。一个完整的闸阀由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈等几部分组成。闸板有刚性闸板和弹性闸板，根据闸板的不同，闸阀分为刚性闸阀和弹性闸阀。屏蔽闸阀法兰闸阀

非金属材料高压闸阀有陶瓷阀门、玻璃阀门、塑料阀门。Etch闸阀AKT

闸阀是各种类型阀门中应用很多的阀门。闸阀根据闸板的的构造又分为两大类：楔式闸板和平板闸板。楔式闸阀是闸阀中应用很广的闸阀，它的密封面与垂直中心线形成某个角度，即两个密封面形成楔形。密封面的倾斜角度有2度52分，5度，8度，10度等。角度的大小取决于介质温度的高低，一般工作温度越高，所取角度越大，以减少温度变化时发生楔住的可能性。楔式闸阀中，又有双闸板、单闸板和弹性闸板之分。双闸板的优点是：对密封面的角度的精度要求不高，温度变化不易引起楔住现象，密封面的磨损可以在维修时加垫片补偿。缺点是，这种结构零件较多，同时在粘性介质中容易粘结，影响密封。尤其是当上下挡板或螺栓螺母强度常年锈蚀后闸板容易脱落失效。Etch闸阀AKT