PVD闸阀Global Foundries

平板闸阀的选用原则1.石油、天然气的输送管线，选用单闸板和双闸板的平板闸阀。如需清扫管线的，选用单闸板和双闸板带导流孔的明杆平板闸阀。2.成品油的输送管线和贮存设备，选用无导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。3.石油、天然气的开采井口装置，选用暗杆浮动阀座带导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。4.带有悬浮颗粒介质的管道，选用刀形平板闸阀。5.城市煤气输送管线，选用单闸板或双闸板软密封明杆平板闸阀。6.城市自来水工程，选用单闸板或双闸板无导流孔明杆平板闸阀。需要指出的是：所有的闸阀均不允许用于作调节介质流量用，因此，在开启时必须将闸板全部提升到通道上方。真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中，如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。PVD闸阀Global Foundries

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀，气动多位置闸阀，气动多定位闸阀，多定位插板阀，Pneumatic Multi Position 其特点是1，全开和关闭位置使用带有位置发射器的气动电磁阀进行控制；2，所有位置控制都由控制器进行操作。1)控制类型-全开：高速闸门全开操作-全闭：高速闸门全闭操作-位置（POS.）控制：将闸门移动到设定的位置值；2)操作时间-完全打开↔完全关闭：<2秒（取决于速度控制器设置)-位置（POS。）控制： 0%↔100%工作，<MAX18秒（偏差： < ±0.5%）。微泰气动多位置闸阀，气动多定位闸阀，多定位插板阀，Pneumatic Multi Position，有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。高压闸阀正确安装、定期维护以及遵守制造商指南对于这些阀门的性能发挥和使用寿命至关重要。

微泰的传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体 PVD CVD 设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统，起着将工艺模块中的晶圆转移到工艺室的关键作用，就像一条沟槽。这些阀门能极大程度地减少闸板开闭时造成的真空压力变化，使腔室内的真空压力得以稳定维持。负责门控半导体晶圆转移的传输阀、转换阀、输送阀、转移阀分为 I 型和 L 型两种。其产品范围包括多种尺寸规格，如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。维护前使用周期可达 100 万次，响应时间为 2 秒，并可根据客户要求定制法兰。这些转移阀产品有铝制或不锈钢制两种，用于传输晶圆小于 450 毫米的半导体系统和隔离工艺室。I 型的特点是叶片能在垂直方向上快速移动，保证腔室压力完美维持，它采用具有 LM 导向系统和单连杆的内部机构，确保高耐用性和长寿命。L 型转移阀产品则设计紧凑，易于维护。I 型和 L 型转移阀在闸门开启和关闭过程中能极大限度地减少振动，且对温度变化非常稳定，能确保较长的使用寿命。此外，它们即使长时间使用，产生的颗粒也很少，能避免晶圆缺陷和主器件污染。微泰不断创新，在压力控制和控制阀制造方面持续努力，专注于真空闸阀的研发。

真空闸阀的工作原理真空闸阀的工作原理是通过旋转阀杆来驱动阀瓣的开启和关闭，从而控制流体介质的流通。在关闭状态下，阀瓣紧密贴合阀座，形成真空密封，防止气体泄漏。在开启状态下，阀瓣离开阀座，流体介质得以通过。真空闸阀的开关动作通常通过手动、电动或气动执行机构实现，以满足不同应用场景的需求。真空闸阀的应用领域真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中，如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。在这些领域中，真空闸阀发挥着至关重要的作用，能够确保真空系统的稳定性和可靠性，提高产品质量和生产效率。闸阀的结构比较简单，一般由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈几部分组成。

微泰，屏蔽闸阀应用于• Evaporation（蒸发）• 溅射• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)• Coating（涂层）• Etch• Diffusion•CVD（化学气相沉积）等设备上。可替代VAT闸阀。其特点是*阀体和阻断器之间的间隙小于1mm*防止流入的气体（粉末）进入阀体内部*使用维修配件工具包易于维护*应用:隔离泵，气流中的高水平工艺。屏蔽闸阀规格如下：驱动方式：手动或气动、法兰尺寸：2.5英寸~ 10英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 2 sec、操作压力范围：2.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 10˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：2.5˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 10˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、机构温度≤ 60 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩闸阀多应用于石油、天然气等输送管线上，在半导体加工工程设备上也多用闸阀。铝闸阀英菲尼亚半导体

非金属材料高压闸阀有陶瓷阀门、玻璃阀门、塑料阀门。PVD闸阀Global Foundries

闸阀是一种常见的线性阀门类型，可在地上或地下的管道中找到。闸阀被设计用于启停流体通过管道的流动，允许用户在需要时隔离管道的一部分。它们通常被称为水闸阀或闸阀。当人们问什么是闸阀时，他们通常会有更多关于闸阀的外观、部件组成、不同类型之间的区别以及工作原理的信息需求。我们将在本指南的各个部分中涵盖所有这些方面。闸阀通常由阀体本身和用于打开和关闭阀门的手轮执行器组成，阀体本身安装在管道上的直通管道中。这种多圈转动的轮组通常延伸在管道和阀门的上方或侧面，通过一根杆与盖头组件相连。可以顺时针旋转打开阀门，逆时针旋转关闭阀门。闸阀的优点是，它们提供了完全关闭水流以进行故障排除、维护和管道清洗任务的能力。它们也可以双向使用，在上游和下游方向上阻止流动，并且在操作中不会导致重大压力损失。在某些情况下，闸阀的局限性可能是它们打开或关闭的速度不够快。此外，它们并不设计成通过部分开启或关闭来调节或控制流量。本指南旨在详细解释闸阀是什么，它们的用途是什么，它们是如何工作的，以及英国可购买的不同类型闸阀。PVD闸阀Global Foundries