CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases)：在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。四川乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川乙烯标准气体供应商
以确保安全2、气体的饱和蒸气压及其他性能要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能，考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。3、标准气体中组分之间的反应标准气体在制备之前，应考虑标准气体中各组分间是否发生化学反应（即化学稳定性问题），实际上必须搞清楚哪些气体组分不能化学匹配，否则，制备出的标准气体量值不准确，甚至可能会发生**。4、标准气体中组分与钢瓶（容器）材料的反应在制备标准气体之前，还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应（如氧化、腐蚀、吸附等）问题，以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性，选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。另外，在往气瓶中充入每一个组分之前，配气系统各管路应抽成真空，或者用待充的组分气体反复进行增压—减压来置换清洗阀门和管路，直到符合要求为止。为了避免先稳量的组分气体的损失，在往气瓶中充入第二个组分时，该组分气体的压力应远高于气瓶中的压力。为了防止组分气体的反扩散，在充完每一个组分后，在热平衡的整个期间应关闭气瓶阀门，然后进行称量。成都气体生产厂家福建工业气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
L:钢瓶标准气的浓度(ppm);Qs:钢瓶标准气的流量(Lömin);Qa:压缩空气的流量(Lömin;用此法配气时,在压缩空气的管路中应安装选择性过滤器(净化器),以除去空气中影响配气纯度的杂质。此外配气出口的总流量应略大于用气口的流量,以保证所配气体的浓度与纯度。2.渗透管动态配气法(1)渗透管及渗透率的测定渗透管是动态配气法中的另一种气源,其结构见图5。740)">在安培瓶1中装入产生原料气的液体(如汽油等),用不锈钢加固环3将聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的颈部紧封牢固,塑料帽的上端是比较薄(壁厚在1毫米以下)的渗透面4。由于原料液体的挥发性,使安培瓶中有一定蒸气压,气体分子在蒸气压力的作用下,通过渗透面向外渗透。单位时间的渗透量叫渗透率。在一定温度下,渗透率的大小决定于渗透面的厚度和面积的大小等因素。渗透面越大,壁越薄,渗透率就越大。制作渗透管时,就是通过改变渗透面积和厚度的办法,以获得不同渗透率的渗透管。任何渗透管在使用前都必须知道其渗透率。渗透率的测定方法是:在一干燥瓶的底部装入粒状氢氧化钠,上面盖一层尼龙纱网,将渗透管放入干燥瓶中的纱网上。加盖后,渗透出来的气体(汽油蒸气)就会被氢氧化钠吸收。由于液体的蒸气压与温度有关。
标准气体为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。标准气体分二元、三元和多元标准气体。中文名标准气体外文名(Standardgases)属于标准物质性质工业名词目录1功能用途▪应用领域▪适用范围2制备方法▪称量法▪渗透法▪分压法▪扩散法▪容积法▪饱和法▪流量法▪稀释法▪体积法3混匀技术4稳定性5配制分类▪静态配气▪动态配气6配制方法7选择8分析方法9比对方法10比对结果11注意事项12种类13标准状态14不确定度定义标准气体功能用途编辑标准气体应用领域1.常见的标准气体按用途包括：气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、**监测类标准气体、医疗卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。2.标准气还可用于环境监测，**的有机物测量，汽车排放气测试，天然气BTU测量，液化石油气校正标准，超临界流体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元，三元和多元标准气体。配气准度要求以配气允差和分析允差来表征。成都一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
分子量当标准气体的组分气和稀释气分子量相差太大时,如H2、He和CO2、Ar组成的标准气体,静置时间长了容易分层,这势必影响其稳定性,并且其含量越高,影响越大。因此,在使用这类标准气体时,必须先把钢瓶进行旋转或放倒在地上滚动,使瓶内气体混合均匀。否则,其量值不准,影响标准气体的稳定性。使用条件环境条件与标准气体的稳定性也有很大关系,温度、湿度要适宜,象一些液化类气体,必须在室温以上使用;在使用标准气体时,对系统的要求很高,丝毫不能泄漏。因此,用户要严格按照《标准物质证书》上的要求使用,才能保证标准气体的量值准确,稳定性可靠。使用周期标准气体的使用有效期是根据稳定性实验结果来加以确定的,一般把能够保证标准值的有效期定为半年至一年。由于当标准气体的压力减小时,被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸,其浓度值发生变化,因此一般规定,高压钢瓶标准气体的残压低于MPa时,应停止使用。结果讨论标准气体稳定性实验结果表明,只要在配制过程中,注意容器的选择及预处理,用户按标准物质规定的要求使用,标准气体在有效期内是稳定的。用户可放心使用。重庆气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。福建丙烷标准气体采购
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这样可以减小瓶壁的吸附作用。如果需要浓度更低的气体,在大瓶子中配气后,可用抽真空法再进行稀释。例如,将大瓶子中的气体压力抽至原有压力的一半,然后再充进干净空气至原来的压力,即可得到原来浓度一半的标准气体。2.注射器配气法对于需气量较小的工作,用注射器配气是很方便的。取两个大小不等的注射器,大注射器一般用100毫升的,小注射器根据配气情况而定。配气时,在大注射器中放一小金属片,将活塞推入,再用小注射器取一定量的原料气,将两注射器按图2连接,把小注射器的气体推入大注射器,去掉小注射器和橡皮帽,抽动大注射器活塞,用干净空气将气体稀释到100毫升,摇动注射器中的金属片,使气体混合均匀,即得到较低浓度的标准气体。稀释后的浓度可根据稀释前后气体体积计算出来。如果一次稀释达不到要求,还可进行第二次、第三次稀释…。进行再次稀释时,只要将大注射器中配好的气体推出一部分,然后吸入干净空气进行稀释,即可得到更低浓度的标准气体。740)">3.塑料袋配气法用100毫升注射器或通过湿式流量计将一部分空气注入塑料袋内,然后按图3连接一个事先装入原料气的气体定量管。继续通气将定量管中的原料气压入塑料袋中,稀释至一定体积。用手揉捏塑料袋,使气体混合均匀。四川乙烯标准气体供应商
