企业商机
减薄用清洗剂基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机碱
  • 产品性状
  • 液态
减薄用清洗剂企业商机

    本发明提供如下技术方案:一种抛光减薄装置,包括:托盘,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圆;喷头,用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,以对所述待加工表面进行抛光;磁转子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨,对所述待加工表面进行减薄。可选地,还包括控制部件;所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连,用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作,以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地,所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层,以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地,所述研磨层为金属氧化物层,所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,还包括:热板,设置于所述托盘底部,用于对所述托盘进行加热,以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地,所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法,包括:将待加工部件固定在托盘上,所述待加工部件包括inp基晶圆;通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,来对所述待加工表面进行抛光;通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。减薄清洗剂,轻松应对各种涂层挑战,让您的工作更轻松。杭州好用的减薄用清洗剂销售厂家

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    减薄用清洗剂的作用原理:溶解作用:清洗剂中的化学成分与被清洗物质发生化学反应,将其溶解在清洗剂中。例如,酸性清洗剂可以与金属氧化物反应,生成可溶性的盐类,从而去除氧化层。有机溶剂清洗剂则通过溶解有机物质,使其从被清洗材料表面脱离。乳化作用:对于含有油脂等物质的清洗对象,清洗剂可以使油脂乳化,形成微小的颗粒分散在清洗液中,从而被清洗掉。分散作用:清洗剂能够将固体颗粒分散在清洗液中,防止它们重新沉积在被清洗材料表面。例如,在一些金属材料的减薄过程中,清洗剂可以分散去除下来的金属颗粒,避免它们对材料表面造成二次污染。 合肥半导体减薄用清洗剂订做价格减薄用清洗剂的使用时要注意什么?

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    本发明涉及半导体制造技术领域,更具体地说,涉及一种抛光减薄装置和抛光减薄方法。背景技术:采用iii-v族化合物制作的半导体器件和超高速数字/数模混合电路等凭借其优良的频率特性,已经成为通讯、雷达、制导、空间防御、高速智能化武器及电子对抗等现代化装备的部件之一。在众多的iii-v族化合物中,inp(磷化铟)化合物具有独特的优势,这主要得益于其优良的材料特性,例如,inp和ingaas(铟镓砷)之间的晶格失配很小,以及电子饱和速率很高等,所以不论是hemt(highelectronmobilitytransistor,高电子迁移率晶体管)结构还是hbt(heterojunctionbipolartransistor,异质结双极晶体管)结构,都具有非常优异的高频、大功率性能。但是,inp材料的物理性能却很差,非常易碎,很小的碰撞或振动都会导致晶圆碎裂而前功尽弃,因此,inp材料的制造加工面临着很多工艺上的难题。尤其是在超高频率、大功率的inp基rfic(射频集成电路)的制造工艺中,如何在对inp基晶圆进行减薄抛光时,减小或避免inp基晶圆的损伤是本领域技术人员亟待解决的问题之一。技术实现要素:有鉴于此,本发明提供了一种抛光减薄装置和抛光减薄方法,以减小或避免inp基晶圆的减薄抛光损伤。为实现上述目的。

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    在本发明的一个实施例中,抛光液110的主要成分包括:碳化硅颗粒,颗粒直径为50nm~200nm,体积比为3%~5%;次氯酸盐,体积比为30%~40%;氢溴酸,体积比为5%~7%,di水,体积比50~60%。本发明的一个实施例中,如图3所示,磁转子12包括截面为半圆形的柱状磁性结构120和位于柱状磁性结构120的底部平面的研磨层121,以通过研磨层121对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨。当然,本发明并不仅限于此,在其他实施例中,可以根据实际需求选择合适的磁转子形状。可选地,研磨层121为金属氧化物层,进一步可选地,金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,研磨层121的厚度为10μm。本发明实施例中,如图4所示,磁转子12沿箭头所示方向旋转,如沿逆时针或顺时针方向旋转,并且,磁转子12的长度近似等于待加工部件20如inp基晶圆的直径,以对整个待加工表面进行研磨。本发明实施例中,抛光减薄装置还包括控制部件。控制部件与磁转子12和喷头11相连,用于控制喷头11和磁转子12交替工作,以对待加工表面交替进行抛光和减薄。其中,控制部件通过脉冲方式控制喷头11和磁转子12交替工作。可选地,控制部件控制磁转子12的转速为80rpm~200rpm。哪家减薄用清洗剂的的性价比好?广州什么是减薄用清洗剂替代

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    博洋化学提醒您,在使用减薄用清洗剂时,务必注意以下事项:严格按照使用说明操作:不同的博洋化学减薄用清洗剂有着特定的使用方法和注意事项,只有严格遵守,才能确保清洗效果达到佳,同时保障操作的安全性。我们的产品说明书经过精心编写,详细阐述了每一个步骤和要点,务必仔细阅读并严格执行。做好防护措施:在使用清洗剂的过程中,应佩戴适当的防护用品,如手套、护目镜、口罩等。博洋化学的清洗剂虽经过严格的安全检测,但为了避免任何可能的风险,防护工作不可忽视。这不仅能保护您免受清洗剂可能带来的伤害,也是对您自身健康负责的表现。控制清洗时间和温度:根据博洋化学清洗剂的性质以及被清洗材料的特点,合理控制清洗时间和温度至关重要。清洗时间过长或温度过高,可能导致过度清洗,损坏材料;而时间过短或温度过低,则可能清洗不彻底。通过不断的实践和摸索,找到适合的清洗参数,以实现佳的清洗效果。妥善处理废液:清洗后的废液中可能含有有害物质,必须妥善处理,以避免对环境造成污染。可以采用中和、沉淀、过滤等方法进行初步处理,对于较为复杂的废液,也可委托专业的环保公司进行处理。博洋化学始终秉持环保理念,鼓励用户正确处理废液。 杭州好用的减薄用清洗剂销售厂家

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