光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点，成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。吉林晶圆等离子清洗机设备
芯片在引线框架基板上粘贴后，要经过高温使之固化。如果芯片表面存在污染物，就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果，使键合不完全或粘附性差、强度低。在WB工艺前使用等离子处理，可以显著提高其表面附着力，从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性，提升WB工艺质量。在FlipChip（FC）倒装工艺中，将称为“焊球(SolderBall)”的小凸块附着在芯片焊盘上。其次，将芯片顶面朝下放置在基板上，完成芯片与基板的连接后，通常需要在在芯片与基板之间使用填充胶进行加固，以提高倒装工艺的稳定性。通过等离子清洗可以改善芯片和基板表面润湿性，提高其表面附着力，进而影响底部填充胶的流动性，使填充胶可以更好地与基板和芯片粘结，从而达到加固的目的，提高倒装工艺可靠性。重庆低温等离子清洗机服务电话在喷涂UV绝缘材料之前，通过等离子表面处理可以粗化电芯铝壳表面，提高其表面附着力。
等离子清洗机在IC封装中的应用：塑封固化前:IC封装的注环氧树脂过程中，污染物的存在还会导致气泡的形成，气泡会使芯片容易在温度变化中损坏，降低芯片的使用寿命。所以，避免塑封过程中形成气泡同样是需解决的问题。芯片与基板在等离子清洗后会更加紧密地和胶体相结合，气泡的形成将减少，同时也可以显著提高元件的特性，引线键合前:芯片在引线框架基板上粘贴后，要经过高温固化，如果这时上面存在污染物，这些氧化物会使引线与芯片及基板之间焊接效果不完全或黏附性差，影响键合强度。等离子清洗运用在引线键合前，会显著提高其表面活性，从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。在IC封装工艺过程中，芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量，如果在封装工艺过程中的装片前引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗，则可有效去除这些污染物。
等离子清洗机，作为现面处理技术中的佼佼者，其基本原理基于等离子体物理学。等离子体，作为物质的第四态，由高度电离的气体组成，其中包含了大量的电子、离子、自由基及中性粒子等活性成分。在等离子清洗机中，通过特定的放电方式（如射频放电、微波放电或直流放电等），将工作气体（如氩气、氧气、氮气或混合气体）激发成等离子体状态。这些高能活性粒子在电场作用下，加速撞击待处理物体的表面，与表面污染物发生物理化学反应，如剥离、氧化、还原、刻蚀等，从而实现表面清洁与改性的目的。等离子清洗机因其非接触式、无化学残留、环境友好、清洗效果明显且可处理复杂形状工件等优点，被广泛应用于半导体制造、精密机械、航空航天、生物医药等多个领域，成为现代工业中不可或缺的表面处理设备。等离子体（plasma）是由自由电子和带电离子为主要成分的物资状态，被称为物资的第四态。
在材料科学领域，聚丙烯（PP）是一种普遍使用的工程塑料，提升其性能一直是研究的重点。由于PP具有优异的物理和机械特性以及良好的加工性能，因此在包装、汽车、家电等多个行业得到了广泛应用。然而，PP的表面能较低，使其在粘附、润湿和涂覆性能方面表现不佳，限制了其应用领域。为了解决这一问题研究人员采用了等离子清洗机明显提升了PP材料的活性。等离子清洗机增强PP材料聚丙烯材料的活性特性主要通过以下几个关键途径：改变表面结构：等离子体中的高能粒子轰击PP材料表面，使其表面微观结构发生变化，增加表面粗糙度和比表面积，有利于后续的加工处理中与其他物质更好地结合，例如在粘接工艺中，粗糙表面能提供更多的机械嵌合位点，增强粘接强度。例如，表面粗糙度可能从原来的微观平滑状态提升数倍甚至更高，具体数值因处理条件而异。通过等离子表面活化，可以提高玻璃基板表面亲水性，有效优化表面附着力，提升电池的稳定性和品质。山西真空等离子清洗机性能
等离子体非常容易导电，同时会产生磁场，等离子电视就是应用了导电的等离子体充满整个屏幕的技术。吉林晶圆等离子清洗机设备
等离子清洗机利用高能粒子与有机材料表层产生的物理学或化学变化，以解决活性、蚀刻工艺、除污等原材料表层问题。当待清洗的物体放置在等离子体发生器的工作区域内时，这些高能粒子和自由基等活性物质会与物体表面的污垢发生反应。这些反应可能包括电离、激发、解离等，从而产生大量的化学物质。这些化学物质可能包括氧化性物质如O2、O3、NOx等，还原性物质如H2、NH3等，以及其他活性物质如CO、CO2等。这些活性物质与物体表面的污垢发生反应，将其分解成较小的分子或原子，并将其从物体表面解离。同时，等离子体的高速气流也有助于将污染物从表面冲刷掉，实现彻底清洗的目的。吉林晶圆等离子清洗机设备
