溅射闸阀SHIELD GATE VALVE

半导体真空插板阀是一种用于半导体制造过程中的真空系统的阀门，主要作用是控制气体的流动，以维持真空环境的稳定。微泰半导体真空腔体用闸阀（插板阀）其特点包括：1. 高密封性：采用特殊的密封结构，能够有效地防止气体泄漏，保证真空系统的密封性。2. 耐腐蚀性：材料具有良好的耐腐蚀性，能够在半导体制造过程中的化学物质环境中稳定工作。3. 高精度：能够精确地控制气体的流量，满足半导体制造工艺对精度的要求。4. 快速响应：可以快速地开启和关闭，以适应半导体制造过程中的快速气体控制需求。5. 可靠性高：设计和制造过程严格，保证了其在长期使用中的可靠性和稳定性。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。该闸阀由上海安宇泰环保科技有限公司提供。微泰控制系统阀门是安装在半导体CVD设备中的主要阀门。控制系统阀门起到调节腔内压力的作用。溅射闸阀SHIELD GATE VALVE

微泰半导体闸阀的特点：插板阀主滑阀的球机构方式-在量产工艺设备上的性能验证-由半永久性钢球陶瓷和板簧组成，陶瓷和金属触摸驱动无颗粒-已向中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备，设备厂批量供货，已得到品质认可，已完成对半导体Utility设备和批量生产设备的验证，而其他厂家闸阀金属和金属触摸驱动产生大量颗粒。使用钢陶瓷球，与金属摩擦时不会损坏，金属与陶瓷球之间不会产生Particle，半永久板簧（SUS钢板）的应用确保阀门驱动同步性，采用了固定球导向器和钢陶瓷。微泰半导体闸阀应用于• Evaporation（蒸发）• Sputtering（溅射）• Diamond growth by MW-PACVD（通过MW-PACVD生长金刚石）• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）• Coating（涂层）• Etch（蚀刻）• Diffusion（扩散）•CVD（化学气相沉积）等设备上。可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。铝闸阀UMC微泰，高压闸阀应用于• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）•CVD（化学气相沉积）等设备上。

微泰高压闸阀可以应用于多种设备，如蒸发、溅射、金刚石生长、PECV、PVD集群、卷对卷、涂层、蚀刻、扩散和CVD等。它具有陶瓷球机构产生的低颗粒和易于维护等特点，可替代VAT闸阀。该阀门的规格包括手动或气动驱动方式、1.5英寸至14英寸的法兰尺寸、CF法兰类型、焊接波纹管连接方式、氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM阀门密封、氟橡胶O型圈阀盖密封、≤2秒响应时间、1.5˝至6˝的操作压力范围为1×10-10 mbar至1400 mbar，8˝至14˝的操作压力范围为1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的开始时压差、≤1400 mbar的6˝以下闸门差动压力和≤1200 mbar的8˝至14˝闸门差动压力、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率、250,000次维护前可用次数、阀体温度≤200°、机构温度≤80°C、烤炉温度≤150°C、阀体不锈钢304或316L和驱动器铝6061阳极氧化、任意安装位置和4至7 bar的N2操作压力。此外，微泰高压闸阀已在中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其他设备上得到应用。如果您需要了解更多关于微泰高压闸阀的信息，请联系上海安宇泰环保科技有限公司。

闸阀又称插板阀是一种管道控制设备，主要用于截断或接通介质流。其主要应用于以下场合：1.物料输送系统中的管道切换2.粉尘、颗粒状物料的输送管道3.化工行业的腐蚀性介质管道4.矿山、冶金行业的物料输送5.水处理系统的介质隔离6.燃气、空气等气体的管道控制7.环保设备的尾气处理系统8.燃料供应系统的介质切换9.纺织、制药等行业中的特殊介质管道10.建筑工地、船舶等移动设备的管道系统控制。插板阀是一种用于控制流体管道中流量和压力的阀门，通过插入或拔出阀门上的插板来开启或关闭管道。它广泛应用于工业、建筑、化工等领域。闸阀流动阻力小。阀体内部介质通道是直通的，介质成直线流动，流动阻力小。

真空阀可以根据其工作原理、结构特点、应用领域等多种方式分类。以下是一些常见的分类方法：1.按工作原理分类：o机械式真空阀：通过机械运动来控制真空环境的开关。o电磁式真空阀：利用电磁力来驱动阀门的开启和关闭。o气动式真空阀：使用压缩空气或气体作为动力源来控制阀门动作。o热导式真空阀：利用热导原理，通过加热或冷却来控制真空度。2.按结构特点分类：o直通式真空阀：流体通道为直线型，适用于高真空系统。o角式真空阀：流体通道呈90度弯曲，常用于空间受限的场合。o三通式真空阀：具有三个接口，可以实现流体的分流或合流。o多通路真空阀：具有多个通道，适用于复杂的真空系统。3.按应用领域分类：o半导体行业真空阀：用于半导体制造过程中的真空环境控制。o化工行业真空阀：适用于化工生产中的真空过滤、蒸馏等过程。o真空镀膜用真空阀：在真空镀膜设备中用于控制真空度。o实验室真空阀：用于实验室真空环境的搭建和维持。4.按控制方式分类：o手动真空阀：通过手动操作来控制阀门的开关。真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。闸阀HV GATE VALVE

真空闸阀的密封装置确保关闭时的高真空完整性，防止泄漏并维持腔室内的真空压力。溅射闸阀SHIELD GATE VALVE

真空闸阀的选择需要考虑以下几个关键因素：1.应用环境：确定真空闸阀将用于何种真空环境，例如实验室、工业生产或特殊应用等。2.真空度要求：根据应用需求选择合适的真空度范围，确保闸阀能够满足工作环境的真空度要求。3.材料：选择闸阀的材料应考虑耐腐蚀性、耐温性以及与介质的兼容性。4.尺寸和接口：根据系统管道的尺寸和接口类型选择合适的闸阀尺寸和连接方式。5.流量要求：根据系统流量需求选择合适的闸阀，确保其能够满足最大流量要求。6.控制方式：选择手动、气动或电动等控制方式，以适应不同的操作需求。7.品牌和质量：选择信誉良好、质量可靠的制造商，确保闸阀的性能和寿命。8.维护和售后服务：考虑制造商提供的维护支持和售后服务，以确保长期使用中的问题能够得到及时解决。综合以上因素，选择适合您具体需求的真空闸阀。溅射闸阀SHIELD GATE VALVE