微泰半导体闸阀具有独特的三重保护保护环机能:采用铝质材料,减轻重量的同时提高保护环内部粗糙度,有效防止工程副产物的堆积黏附;通过提升保护环内部流速设计,且保护环逐步收窄,进一步提升流速,防止粉尘黏附;采用三元系 O 型圈,确保保护环驱动稳定,可保证 30 万次驱动。该闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)、CVD(化学气相沉积)等设备上,能够替代 HVA 闸阀、VAT 闸阀。此闸阀由上海安宇泰环保科技有限公司提供。为了避免在颗粒敏感应用中产生颗粒,滑动闸门机构的设计旨在避免阀壳处的摩擦。三防闸阀蝶阀
闸阀是一种用于控制流体流动的阀门,通常用于管道中,以实现流体的开启、关闭或调节流量。它的工作原理是通过旋转或升降闸板来截断或导引流体流动。根据不同的应用场景,闸阀可以分为多种类型,如手动闸阀、电动闸阀、气动闸阀等。插板阀是一种用于控制流体介质的流动方向的阀门,其主要特点是结构简单、启闭迅速、密封性能好,广泛应用于石油、化工、水处理等领域。插板阀是一种用于控制流体流动的阀门,广泛应用于管道系统中,以下是其一些基本应用:1.化工行业:在化工生产过程中,插板阀用于控制介质的输送,实现管道的启闭。2.污水处理:在污水处理系统中,插板阀用于调节水质和流量,保证污水处理效果。3.水电行业:在水电站中,插板阀用于调节水流量,实现水轮机的启动和停止。4.燃气行业:在燃气输配系统中,插板阀用于控制燃气的输送和分配。5.城市供水:在城市供水系统中,插板阀用于调节水压和水流量,保证居民生活用水。6.工业生产:在各类工业生产过程中,插板阀用于控制物料输送,提高生产效率。蒸发闸阀法兰闸阀当真空阀打开时,闸门移出流路,使气体以高电导率通过。

定期清洁阀门表面,保持阀门光滑无污垢;检查阀体和阀杆是否有磨损或损坏,如有需要及时更换;检查密封面是否完好,如有损坏要及时修理或更换;定期检查阀门开关是否灵活,如有卡涩现象要及时润滑;检查阀体和阀杆的连接部位,确保螺栓紧固;在保养过程中,注意安全操作,防止意外伤害。闸阀是一种用于控制流体流动的阀门,通常用于管道中,以实现流体的开启、关闭或调节流量。它的工作原理是通过旋转或升降闸板来截断或导引流体流动。根据不同的应用场景,闸阀可以分为多种类型,如手动闸阀、电动闸阀、气动闸阀等。插板阀是一种用于控制流体介质的流动方向的阀门,其主要特点是结构简单、启闭迅速、密封性能好,广泛应用于石油、化工、水处理等领域。
微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,插板阀,气动(锁定)闸阀和手动(锁定)闸阀-按产品尺寸和法兰类型排列-ID为1.5英寸至30英寸,ISO、CF&JIS和ASA法兰等-现有手动闸阀的锁定功能(Exist Manual GV of Locking Function)。微泰气动(锁定)闸阀和手动(锁定)闸阀应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)• Coating(涂层)• Etch(蚀刻)• Diffusion(扩散)•CVD(化学气相沉积)等设备上。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。闸阀(gate valve)是一个启闭件闸板,闸板的运动方向与流体方向相垂直,闸阀只能作全开和全关。

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀蝶阀Butterfly Valve。该蝶阀具有紧凑的设计和坚固的不锈钢结构,通过闸板旋转操作。蝶阀可以实现精确的压力控制和低真空环境。例如半导体和工业过程。蝶阀通过控制器和步进电机自动控制到用户指定的值,保持一致的真空压力。可以在高真空环境中实现精确的压力控制。如半导体等高真空工艺应用。控制系统闸阀是自动控制到用户指定的值,通过控制器和步进电机保持一致的真空压力。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)、CVD(化学气相沉积)等设备上,可替代 HVA 闸阀、VA T闸阀。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。该闸阀由上海安宇泰环保科技有限公司提供。闸阀的结构比较简单,一般由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈几部分组成。多定位闸阀I型转移阀
闸阀的结构紧凑,阀门刚性好,通道流畅,流阻数小,密封面采用不锈钢和硬质合金,使用寿命长。三防闸阀蝶阀
微泰半导体闸阀的特点,首先介绍一下起三重保护的保护环机能,采用铝质材料减少重量,并提高保护环的内部粗糙度,防止工程副产物堆积黏附。提升保护环内部流速设计,保护环逐步收窄,提升流速,防止粉尘黏附。采用三元系O型圈,保证保护环驱动稳定(保证30万次驱动)。微泰半导体闸阀应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)• Coating(涂层)• Etch(蚀刻)• Diffusion(扩散)•CVD(化学气相沉积)等设备上。可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。三防闸阀蝶阀