光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子表面处理技术凭借其独特的优势，在3C消费电子行业得到了广泛应用。吉林晟鼎等离子清洗机性能
等离子清洗机的工作原理基于等离子体技术，即在真空室内通过放电产生等离子体，利用等离子体中的高能粒子和自由基等活性物质对样品表面进行清洗和改性。等离子体是由气体分子在高能电场下电离而形成的一种带电粒子云体系，包含了大量的自由基、离子、电子等活性物质。当样品置于等离子体中时，这些活性物质会与样品表面发生反应，从而清理表面污垢和有机物，并在表面形成一层新的化学官能团，实现表面改性。相比传统的化学清洗方法，等离子清洗机具有干式清洗、无需化学溶剂、绿色环保、温度低避免热损伤等优势，能够在不损伤样品表面的前提下，实现高效、彻底的清洗和改性。浙江晶圆等离子清洗机产品介绍手机组装粘接前、中框粘接前、盖板粘接前通过大气等离子处理，可有效增强表面附着力，提高粘接质量。
大气等离子清洗机为什么在旋转的时候不会喷火？工作环境与条件的影响:在旋转过程中，大气等离子清洗机与周围的气体环境会产生强烈的相互作用。尽管等离子体能够达到较高的温度，但其形成和维持需要特定的条件。当设备旋转时，气体流动速度加快，使得气体变得更为稀薄，进而降低了等离子体的密度。同时，气流的干扰也会对等离子体的稳定性造成影响，因此无法产生肉眼可见的火焰。能量释放与热量管控:火焰的形成通常是可燃物与氧气迅速反应的产物。在大气等离子清洗机的工作过程中，尽管等离子体中存在一些高能的自由电子和离子，但它们并不具备形成火焰的条件。等离子体的高温是在局部区域显现，其能量释放发生在微观层面，并不会表现为可见的火焰。并且，设备的设计通常会充分考虑热量的管理问题，以确保在运行过程中不会产生过多的热量，从而有效地控制了火焰的产生。设计工艺与材料的精心挑选:大气等离子清洗机的结构设计和材料选择至关重要。现代清洗机一般会选用耐高温和耐腐蚀的材料，以确保在高能环境下能够长时间稳定运行，而不会燃烧或者释放有害物质。此外，设备内部的流体动力学设计能够有效地引导等离子体的生成，避免局部温度过高，进而降低了火焰产生的风险。
汽车保险杠通常会采用塑料材料，其中PP和EPDM材料具有韧性好、易加工，又加上具有成本优势，一直以来都是汽车保险杆生产厂商的好帮手。我们知道，保险杠需经过喷漆处理，而PP和EPDM材料表面能比较低，直接涂会掉漆，以往都是在喷漆前用火焰处理来提高材料的表面能，但火焰处理方式容易造成材料变形和色变，并且材料耐老化性差。真空等离子体清洗机表面处理技术不仅能解决保险杠PP和EPDM材料表面能低，粘接力差的问题，而且安全可靠，得到了生产厂商的认可和使用。等离子清洗机应用于PP和EPDM材料处理是一种干式环保的处理方式，通过等离子清洗机的处理，既能够有效提升PP包材的表面粘接力，使之在印染时粘得更牢、不易脱落，且无需使用溶剂，绿色环保、节约成本。等离子体（plasma）是由自由电子和带电离子为主要成分的物资状态，被称为物资的第四态。
在实际应用中，射频电源频率的选择需要根据具体的清洗需求和材料特性来确定。例如，在半导体芯片制造过程中，需要去除芯片表面的微小污染物和残留物，同时避免对芯片造成损伤。此时，选择适当的射频电源频率可以确保等离子体在芯片表面均匀分布，同时提供足够的能量以去除污染物，同时保持芯片的完整性。实验研究表明，不同频率下的射频等离子清洗机在清洗效果上存在差异。较低频率的射频电源可能无法产生足够密度的等离子体，导致清洗效果不佳；而过高的频率则可能导致等离子体温度过高，对材料表面造成损伤。因此，在实际应用中，需要通过实验验证和工艺优化来确定比较好的射频电源频率。等离子体非常容易导电，同时会产生磁场，等离子电视就是应用了导电的等离子体充满整个屏幕的技术。吉林晟鼎等离子清洗机性能
宽幅等离子适用于各种平面材料的清洗活化，搭配等离子发生装置，可客制化宽幅线性等离子流水线设备。吉林晟鼎等离子清洗机性能
随着集成电路技术的发展，半导体封装技术也在不断创新和改进，以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案，能够满足先进半导体封装的要求，被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑，并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前，基板上如果存在污染物，银胶容易形成圆球状，降低芯片粘结度。因此，在DB工艺前，需要进行等离子处理，提高基板表面的亲水性和粗糙度，有利于银胶的平铺及芯片粘贴，提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量，降低成本。吉林晟鼎等离子清洗机性能
