超快激光超精密无氧铜真空卡盘

飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，可以实现超精密微孔加工。微泰 利用先进的飞秒激光高速螺旋钻削技术，用扫描仪，可以在任何位置自由调整聚焦点，还可以调节激光束的入射角，从而实现锥度、直锥度可以进行倒锥度等，所需的微孔的几何加工。本系统通过调整入射角和焦距，可以进行产业所需的各种形状的加工，可以进行5um到200um的精密孔加工。此外，还可以进行MAX10度角的倒锥孔和三维加工。激光加工完成后，用微孔检测系统，将载入相应的坐标信息。通过视觉扫描，确认每个微孔的大小和位置信息，并将其识别合格还是不合格。收集完成后，按下返工按钮即可进行再加工。本技术适用于，需要超精密加工的半导体制造设备零件、医疗领域设备及器材配件，各种传感器相关配件，适用于光学相关设备和零件的精密加工领域。特别是用于MLCC制造中的薄膜片叠层用真空板微孔加工。有微孔加工需求，超精密加工需求，请联系！激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特别适合于超精密加工。激光精密加工质量的影响因素少，加工精度高。超快激光超精密无氧铜真空卡盘

微泰，开发了一种创新的新技术，在PCD刀具上形成断屑槽，用于加工有色金属材料。使用独特的先进技术，现在可以在PCD刀具的切削刃上形成具有所需形状的断屑槽。该技术可用于从粗加工到精加工的范围，通过将加工过程中产生的切屑尺寸控制为任意小，从而提高了刀具寿命和表面光洁度。通过改变PCD的倾角以及形成的断屑槽，可以通过降低切削力和MAX限度地减少加工过程中产生的热量来MAX限度地减少工件的变形。该技术能够生产客户所需的高精度产品，提高生产力，提高质量并降低加工成本。

工业超精密加工激光超精密加工的对象范围很宽，包括几乎所有的金属材料和非金属材料，适于材料的打孔、焊接、表面改性等。

微泰生产和供应半导体领域的 TCB 拾取工具Pick-up Tools、翻转芯片芯片和相机模组的拾取工具。 凭借 30 年的加工技术，我们精确地加工和管理平面度和直角度，并在此基础上生产和供应各种高质量的拾取工具Pick-up Tools。 Attach 部（贴合部）平面度控制在 0.001以下 ，为客户提供高质量的产品。取件工具包括硬质合金、陶瓷、 STS420J2 等材料的普遍使用，微泰制造商可以说是很好的制造商。微泰拾取工具Pick-up Tools应用于Camera ModulePick-up Tools  摄像头模组拾取工具，TCB BondingTools、TCB粘合工具，SMT Pick-up ToolsSMT拾取工具Ceramic Pick-up Finger陶瓷拾取夹具。在手机的相机模型生产过程中，在 PCB 和图像传感器的焊接过程中使用了连接工具，以确保高良率和高精度，占韩国市场90%。Meteral : Alumina, AIN, CopperApplication : Pick-up and bonding tools for camera module production。Meteral：氧化铝、AIN、铜应用，用于相机模块生产的拾取和粘合工具。

微泰真空卡盘精密的半导体晶圆真空吸盘是半导体制造设备的关键部件，可确保晶圆表面的平坦度和平行度，从而在半导体制造过程中安全地固定晶圆，使各种制造过程顺利进行。微泰使无氧铜、铝、SUS 材料的半导体晶圆真空吸盘的平坦度保持在 3 微米以下；支持 6 英寸、 8 英寸和 12 英寸尺寸的晶圆加工；支持 2 层和 3 层的高级加工技术。 提供 4 层连接。尺寸： 6 英寸， 8 英寸.12 英寸。材料: AL6061, AL7075, SUS304, SUS316OFHC(Oxygen free High Conductivity Copper) 平面度公差：小于 3 um 连接: 2floor, 3floor, 4floor 表面处理: Anodizing, Electroless Nickel Plating,Gold Plating, Mirror Polishing。无氧铜 (OFHC) 半导体晶圆真空卡盘，无氧铜 (OFHC) 材料可延长晶圆卡盘的使用寿命，并可MAX限度地减少杂质进入半导体材料，从而防止潜在污染，而且易于加工和成型，可精确匹配卡盘设计。 可加工 。 然而，这种材料的加工要求极高，需要特别小心和精确才能获得光滑的表面光洁度，例如翘曲或毛刺、易变形和加工过程中的硬化。航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM 板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片 。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°超精密加工中的微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术。工业超精密VACUM CHUCK

超精密加工中的超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术。超快激光超精密无氧铜真空卡盘

要求更小更精密的前列IT产业中，有追求纳米级超精密加工的次世代企业，精密加工技术及设计技术为背景，在半导体和电子部件市场中，有生产自动化设备的精密部件，切削工具的企业，上海安宇泰科技有限公司。用自主技术-电解在线砂轮修整技术（ELID）与飞秒激光抛光技术融合在一起，生产世界超精密刀具。为了精巧地剥离一微米以下的超薄膜，开发了非接触切割方法。电解在线砂轮修整技术（ELID）与飞秒激光抛光融合在一起，生产超精密真空板。采用激光在PCD、PCBN上加工芯片切割机的几何工艺，制作非铁金属切削加工用PCD芯片切割嵌件，微泰的竞争力是超精密加工技术和生产，管理系统。保证产品的彻底的品质检查。利用自主开发的ELID研磨机 ,实现了厚度0.03毫米的锋利的刀片式引线切割。利用飞秒激光抛光技术,提高刀具锋利度，提高了寿命和品质50%以上。公差要求高的模具加工方面，具有实现五微米以下的公差平面研磨系统。通过激光设备可以精密地加工0.02毫米的微孔。在PCD、PCBN嵌件表面激光加工制作各种几何芯片切断点，通过自动化检查设备和自主开发的切断性能测试系统，进行彻底检查并通过MES进行电脑管理。我们拥有包括ISO14001在内的多项国际自主技术。

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