电子厂房环境检测服务至上

单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流，所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此，层流洁净室一词是不恰当的，国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如，英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词，并在注释中指出层流的概念只是为了区分比层流更早出现的湍流(turbulent)流洁净室整理房间。在当时使用的成语中，“层流系统”的确切含义不是分层流，而是湍流的置换流。本章提到的概念是湍流的渐进流。在流体力学中，这种流动状态也可以称为平行流动或单向流动。1977年，我国在《清洁空气技术措施》中选择了“平行流”一词，并指出习惯上在该词后称其为“层流”。合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有具体的洁净相关检测。电子厂房环境检测服务至上

（1）检测前，被测洁净室的运行状态必须在正常状态，其温度、湿度、风量、风压及风速必须在控制的规定值内；被测试的洁净室（区）应已进行过消毒；同时，洁净室的测试状态必须符合生产工艺的要求，并在测试报告中注明其测试状态（空态、静态、动态）。（2）测试人员必须穿戴洁净服，而且一般不得超过两个人。（3）净化空调系统正常运转时间对单向流如5级（100级）洁净室或层流工作台不得少于10min；对非单向流如7级（10000级）、8级（100000级）的洁净室不得少于30min。湖南洁净室环境检测服务至上洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越***，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。温湿度控制是维持洁净室环境稳定的重要因素之一。广东排风柜检测规范性强

洁净室检测过程中，应注重节能降耗，实现绿色生产。电子厂房环境检测服务至上

1、按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为低等级别。2、按气流组织分类，洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室：单向流和非单向流组合的气流的洁净室。3、按所需控制的空气中悬浮微粒分类，可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室，它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。4、洁净室的检测状态可分为三类。（1）空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。（2）静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转，但场内无生产人员。（3）动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。电子厂房环境检测服务至上